中古 ADTEC Anex-A2161 #9286116 を販売中

ADTEC Anex-A2161は、高精度リソグラフィ用途をサポートするように設計された先進的なハイエンド光露光装置です。高度な光学、精密力学、最先端のエレクトロニクスのユニークな組み合わせを利用して、Anex-A2161はユーザーにマスクのアライメントとダイレクトライトオペレーションの両方で信頼性が高く、正確で反復可能なイメージング性能を提供します。このシステムは、高精度2。5倍の減磁ユニットと堅牢なレーザービームスキャン（LBS）ミラー装置からなる先進的な光学系を誇っています。この光学系の組み合わせにより、10度の視野内で高解像度のイメージングが可能になります。さらに、TLD（チューナブル・レーザー・ダイオード）ツールを搭載しており、10ナノメートル間隔で420ナノメートルから570ナノメートルの精密波長を選択できます。TLDは露光レベルを制御するためにも使用でき、従来の白色光源よりも高い精度を実現します。このアセットには、光学アセンブリを正確に移動および位置決めするための洗練された精密モーションプラットフォームも備えています。このモーションプラットフォームは、加速度と速度が非常に低い高品質の光学ステージ上に構築されています。ステージは、0。02ミクロンの正確な位置決めと再現性で、X-YとZの両方の動きのためにプログラムすることができます。さらに、試料の地形誤差を正確に補正するために空気圧式ステージ機構を使用した独自の傾斜調整機構があります。このモデルを使用すると、ユーザーはソフトウェアインターフェイスを使用して複数の露出プロセスをプログラムできます。プロセスは最大16個の個別露出コマンドで構成でき、シンプルな形状ベースの命令で実行できます。これにより、さまざまな露出戦略をすばやく設定、保存、リコールでき、さまざまなパターンを1つのジョブに簡単に統合できます。ADTEC Anex-A2161は、あらゆるリソグラフィ用途において最適な結果を提供するために、包括的な機能と高度な操作性を兼ね備えています。ナノテクノロジーや半導体製造から光学・フォトニクス研究まで、さまざまな分野の精密イメージングに理想的なツールです。その洗練された信頼性の高いデザインで、Anex-A2161は堅牢で信頼性の高い反復可能な画像を達成するための完璧な選択肢です。