中古 VEECO VS400 #9199587 を販売中

VEECO VS400は、薄膜蒸着プロセスで使用される蒸発器です。高精度な温度制御と一貫した性能を提供しながら、優れた蒸着速度と均一性を発揮する汎用性の高い蒸発器です。VS400は、最大4つの元素または合金材料を含むソースから材料の薄膜を堆積するように設計されています。これは、効率的な蒸発のためにRFとDCの両方の電源を利用しています。蒸発器は、蒸着プロセスを表示するための石英窓と、ステンレス鋼から構築された正確に機械加工された水冷銅室で構成されています。源の材料は蒸発のためのるつぼに荷を積まれ、その後、RFおよびDC電源を介して加熱されます。内部DCバイアスを蒸発剤に適用することができ、無酸素またはドープフィルムを作成することができます。このチャンバーには、表面をエッチングするためのイオン源もあり、優れた表面洗浄と滑らかな仕上がりを提供します。蒸発器にはターボポンプも装備されており、蒸着プロセスの終わりにチャンバーを避難させるために使用されます。これにより、成膜プロセスに起因する最高品質の薄膜が保証されます。VEECO VS400は、RFおよびDC電源の制御に加えて、蒸発器のプロセス圧力、流量、冷却能力を制御することもできます。これにより、薄膜蒸着プロセスを大幅に制御できます。VS400は、優れた品質と優れた均一性で優れたフィルムを生成する非常に信頼性の高い機械です。高度な制御と監視機能により、ユーザーはVEECO VS400によって生成された結果が薄膜蒸着プロセスに最適であることを確信できます。さらに、その信頼性の高いパフォーマンスは、VS400の寿命とパフォーマンスが競合他社を上回ることを保証します。