中古 VEECO Filament Evaporator #9155361 を販売中

VEECOフィラメント蒸発器は、幅広い基材に薄膜を均一に堆積させるように設計された最先端の蒸発器装置です。抵抗フィラメントフィラメント加熱源を使用して、金属、酸化物、窒化物、およびさまざまな有機化合物を含むほとんどの物質のフィルムを堆積させます。蒸発器は、フィラメント蒸発源、基板ホルダー、排気システムを含む真空定格ハウジングで構成されています。蒸着成膜プロセスに必要な高真空を維持するために、ユニット全体が外部環境から絶縁された真空チャンバー内にあります。フィラメント蒸発器の機械はフィラメントの源に直接DCの流れを提供する直流電源によって運転されます。フィラメントを通る流れの量は源から蒸発させた材料が達することができる最高温度を定めます。ソースは、通常、酸化を低減するために保護コーティングで覆われているタングステンフィラメントで構成されています。ソースは2000°Cまでの温度に加熱され、どのような材料でも蒸発するのに十分な温度です。このツールには、さまざまなアプリケーションで使用できる多数のアクセサリとコントロールが付属しています。例えば、ソースはx、 y、 z軸に沿って移動し、膜厚の均一性を確保することができます。材料の蒸発速度を制御するために使用できる可変シャッターがあり、蒸着速度を正確に制御できます。基板ホルダーは、材料がソースから蒸発している間、基板を適切に保つように設計されています。基板ホルダーはまた、基板が沈着のための適切な温度にあることを保証します。蒸発器には、圧力調整された排気資産も付属しており、ソースから蒸発した余分な材料を連続的にポンプで排出します。VEECOのフィラメントの蒸化器はフィルムおよびコーティングの生産のための貴重な用具です。蒸発速度を正確に制御し、蒸発源を動かすことができ、様々な材料を蒸発させることができるため、汎用性の高いモデルとなっています。それは均一な厚さおよび質のフィルムを作り出す信頼でき、有効な方法です。