中古 VEECO Bell Jar #293648485 を販売中
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VEECO Bell Jar蒸発器は、半導体デバイス製造で一般的に使用される高精度で効率的な蒸発システムです。これは、化学蒸着(CVD)プロセス、薄膜蒸着、およびその他の関連アプリケーションに使用できる粒子用のフィルタリング装置です。この蒸化器は、ベル瓶、プロセスコントローラ、ガス入口および真空コンセント、ウェーハキャリア、バルブおよびゲージを含むさまざまなコンポーネントの封止システムです。VEECO Bell JarはVEECO Evaporatorにとって重要なコンポーネントであり、大気圧よりも低い圧力で密閉された環境を提供するように設計されています。化学物質や粒子の汚染を最小限に抑えるために構築されています。ベルジャーは気密シールを作成するために蒸化器の港に合う特別な設計を備えています。プロセスコントローラは、蒸発プロセス中のガスの温度、圧力、放出を管理します。VEECO Bell Jarとインターフェースされ、化学蒸着サイクルパラメータを正確に制御します。ガス入口と真空コンセントは、化学前駆体と不活性ガスをベルジャーに流し、化学物質を避難させる手段を提供します。ウェーハキャリアは、薄膜蒸着プロセス用の基板を配置するための囲まれたプラットフォームです。また、プロセスコントローラと連携して基板の温度を正確に測定・制御し、精密な蒸着を実現します。バルブとゲージは、VEECO Bell Jarの反応ガスの圧力、温度、流量を監視および調整するために使用されます。バルブは圧力レベルを調整し維持するのに役立ち、ゲージは正確な測定を提供します。これらの部品により、ベル・ジャー蒸発器は材料を正確かつ効率的に蒸発させ、精密な薄膜や他のコーティングを作成することができます。VEECO Bell Jar蒸発器は、半導体デバイス製造および関連プロセスで使用される薄膜蒸着のための効率的なプラットフォームを提供します。その精密かつ効率的な設計により、蒸化器は良質の薄膜を確保するために制御および調整することができる密閉環境を提供します。
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