中古 VEECO 775 #545 を販売中

VEECO 775蒸化器は、高品質の半導体成長プロセスと材料を提供するために設計された高精度の蒸気相エピタキシャルリアクターです。この蒸発器は温度の精密な制御の蒸発を可能にするエンクロージャです。775は温度調整のための3地帯の炉を使用し、複数の地帯および操作の温度のプロフィールのためにカスタマイズ可能です。VEECO 775は、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、その他の蒸着プロセスなどの蒸着ステップに最適です。大容量の生産環境で、再現性、均一性、一貫性のある結果を提供するように設計されています。775蒸発器は高度な独自のシャッター技術を使用しており、幅広い用途に高いスループットと均一性を提供します。シャッターコントロールは、蒸発カセットごとに個別に制御され、シャッターには温度安定性と再現性のための温度補償が含まれています。シャッターシステムは、高度なプロセス制御を提供し、シャッターの開閉時間と動的サーマルモード切替を正確に制御することができます。VEECO 775は高性能の真空チャンバーを備えており、高い温度安定性と再現性を提供します。それは自己クリーニングの侵食抵抗力がある耐火窓が装備されていて、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりを高めます。この蒸発器は超高真空プロセスのステップを達成することができ、最先端のデバイスプロセスの多くに不可欠な複雑な原子層の堆積を可能にします。775は、大容量ウェーハキャリアを内蔵した大容量ウェーハキャリアを使用して、大規模な製造工程を実行し、完全なレシピベースの制御により、手作業を削減し、低コストの操作を提供するように設計されています。また、VEECO 775はリアルタイム監視を提供し、正確なプロセス校正とトラブルシューティングを可能にします。Platinum 900 Soothing Stationなどの他のVEECOシステムとシームレスに動作するように設計されています。775は非常に汎用性の高い蒸発器で、あらゆる種類の大量製造アプリケーションに高精度で再現性を提供し、顧客のニーズに最適です。