中古 ULVAC Satella #9161678 を販売中

ULVAC Satellaは、さまざまな業界の研究開発目的で設計されたスパッタリング装置です。研究者がワークの表面に材料の層を堆積させ、望ましい効果を生み出すことができるツールです。このスパッタリングシステムは、材料を非常に正確な速度で堆積させることができ、作成されたフィルムはさまざまな用途に使用することができます。Satellaはさまざまなタスクに使用できる汎用性の高いツールです。薄膜、反射防止コーティング、シリコンウェーハ上に薄い酸化物層を形成するために使用できます。このユニットは完全に自動化されており、操作を簡素化する直感的なユーザーインターフェイスを備えています。さらに、このマシンには、内蔵の安全シャッターや緊急停止ボタンなど、多くの安全機能が装備されています。ULVAC Satellaには、マグネトロン、アーク陰極、平面陰極など、多数のスパッタ源があります。ポンプ、ゲートバルブ、圧力計など、さまざまな真空部品にも対応しています。Satellaは、温度と圧力制御を備えたデュアルチャンバー設計を備えています。外部チャンバーはプレスパッタリング作業に使用され、内部チャンバーは材料を堆積するために予約されています。ULVAC Satellaツールは、DCやパルスDCマグネトロンスパッタリング、平面スパッタリング、RFマグネトロンスパッタコーティングなど、さまざまなスパッタリング技術も備えています。さらに、このアセットはスパッタエッチングが可能で、ターゲットを同時にエッチングしながら材料をスパッタリングする技術です。このモデルには、信頼性の高い成膜を提供するように設計されたいくつかの機能が装備されています。これらの機能には、高周波ACロードロック、超低電力整流バイアス電源、オートバイアス電圧制御装置、およびデジタルin-situフィルム厚さ監視が含まれます。Satellaは、沈着プロセスを正確に制御できるため、研究開発ラボに最適です。このシステムは、大学の研究室や工業生産ラインへの設置にも最適です。ULVAC Satellaは、精密な沈着を必要とするあらゆるアプリケーション向けの信頼性の高い堅牢なソリューションです。