中古 ULVAC LIS #9078392 を販売中

アルバックLISは、真空技術を専門とするアルバック株式会社が製造する蒸発器です。半導体・光電子産業を中心に使用される低真空蒸化器です。この蒸化器は、印象的な精度と再現性を備えた薄膜材料の迅速かつ均一な蒸発を提供するように設計されています。LISはセラミック素材とステンレス素材の組み合わせで構成されており、軽量かつ耐久性に優れた構造となっています。これは、アトマイザーユニット、真空チャンバー、および基板チャックで構成されています。アトマイザーユニットには、RF誘導アンテナ、ヘリウムおよび/または窒素ガス、および蒸発の速度と持続時間を制御できるシャッターシステムが含まれています。真空チャンバーはステンレス製で、セラミックチャンバーライナーが含まれています。基板チャックは基板を保持し、薄膜層の均一な蒸発を確保するために調整することができます。ULVAC LISに10-5torrの真空レベルおよび0-500°Cの温度較差があります。それは速効性の蒸発器であり、それを半導体産業の大量の必要性にとって理想的にさせる秒の材料の1nmまで蒸発できます。さらに、RFソースの正確な位置決めにより、基板全体にわたって均一な蒸発が保証されます。LISは操作が簡単で、メンテナンスが最小限に抑えられます。詳細な操作と安全指示が含まれたオンボードコンピュータが装備されています。さらに、過圧保護や警告アラームなどの安全機能も備えています。蒸発器はまた、それが簡単に迅速なサービスや部品の交換のために分解することができますモジュール設計を持っています。ULVAC LISは、一貫した基板カバレッジを提供し、酸化膜の成膜、抵抗膜の成膜、堆積膜の薄化、高度なウエハインテグレーションなど、さまざまな薄膜プロセスに適しています。蒸発の均一性により、集積回路生産などの精密薄膜用途に最適です。さらに、その速度と温度調節により、急速で均一な蒸発を必要とするプロセスに理想的な蒸発器となります。