中古 ULVAC EX-550 #9230476 を販売中

アルバックEX-550は半導体の研究開発で広く利用されている乾燥した蒸発装置です。これは、蒸発器の技術を利用して表面や基板上に薄膜堆積物を作成する汎用性の高いラボツールです。シンプルな自動設計により、簡単な操作と正確な蒸着制御が可能です。EX-550蒸発システムには、2つの独立して制御された蒸発源が含まれています。1つの一般的なソースは、金属および金属合金を蒸発させるために使用される電子ビームガンに取り付けられた抵抗加熱フィラメントです。2番目のソースは、有機材料を蒸発させるために使用される高周波誘導ヒーターです。どちらのソースも0。1〜1000ナノメートルの材料を蒸発させることができます。このユニットには、精密な真空制御装置を搭載した加工チャンバーが装備されており、チャンバー圧力を正確に操作できます。ロータリーベーンや拡散ポンプなどの外部真空ポンプに接続されています。温度および圧力モニターを内蔵することで、オペレータはチャンバー内の状態を開くことなく調整することができます。高解像度モーションコントローラは、X方向とY方向で0。003ミリメートル、Z方向で0。01ミリメートルのデジタル精度を実現するように設計されています。材料の精密かつ一貫した成膜を可能にします。コントローラは、金属および合金の異なる数式の回転速度、および有機材料の速度を調整するようにプログラムすることができます。ULVAC EX-550は、高精度で信頼性の高い薄膜堆積物を作成するのに最適なツールです。その自動化された設計は、材料の配合、温度、室圧、運動を正確に制御することと組み合わされて、小規模な研究および生産設備に理想的な蒸化器になります。その印象的な性能で、EX-550は多様な産業のためのgo to蒸化器です。