中古 ULVAC EX-200 #9078379 を販売中

アルバックEX-200蒸着装置は、半導体加工のための薄膜や基板など、さまざまな材料を蒸発させるために設計された汎用性と費用対効果の高いツールです。この蒸発器には、蒸発した材料の加熱要件に合わせて調整できる加熱壁を提供するプロセスチャンバーが装備されています。そのチャンバーはまた、優れた蒸発性能と最小限の粒子汚染を保証する低真空環境を提供します。EX-200システムには自動クーラントトランスファーユニット（ACT）を搭載し、最適な温度を効率的に維持する大容量クーラントフローを提供します。この機械はまた正確で、信頼できる操作を保障するために調節可能なポンプ速度を特色にします。ULVAC EX-200には、直接蒸発または間接蒸発の両方をサポートする統合蒸発器が含まれています。直接蒸発するには、加熱基板に印加される高評価の熱放射材料が必要です。一方、間接蒸発とは、より均一な蒸着のために基板に間接的に導入される蒸発材料の使用を指します。用途に応じて、直接蒸発法も間接蒸発法も効果的な結果を得ることができます。EX-200ツールは、正確なプロセス制御を容易にするために、調整可能な電源設定で迅速な気化のために設計されています。この資産は、チャンバーの熱い壁の材料を均等に飽和させるのに役立つ磁気攪拌バーの使用をサポートしています。このモデルは、チャンバー内の真空レベルを自動制御するプログラマブル真空制御（PVC）も備えています。さらに、ALUS （Automated Loading/Unloading Station）により、蒸発器への材料の容易な積み降ろしが容易になります。ULVAC EX-200蒸発装置は信頼でき、作動し易いです。その優れた性能により、成膜、金属化、材料分析、基材スパッタコーティング、テープ鋳造、厚膜成膜、薄膜成膜、エッチング、コーティングなど、さまざまな用途に最適です。その高度な技術と信頼できる機能は、業界にとって理想的な選択肢です。