中古 ULVAC ei-OPT085 #9376087 を販売中
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ID: 9376087
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2010
Optical evaporation system, 4"
Wafer size: φ50mm±1.0mm
Thickness: 280±15μm
Dome size: 790φmm (4" Wafer x 110Pcs)
EB-Gun: EG0-1G
HPS-1000G-100 EB Power supply, 10kW
LR90 Dry pump
CP11 U-16P Cryo pump
DRP11 Dry pump with LR-90 Silencer
MFC: O2 Gas, 50 SCCM
Lamp heater: Maximum 350°C
PLC CPU
C-30VR Cryo compressor
TOKYO INSTRUMENTATION FS12-13-21-22 FA Series flow switch
VEECO Ion gun controller screen
CRTM-9000G Film thickness monitor
ET1515LJ Touch panel system
BENQ Monitor, 15"
Main source shutter
(4) Heating lamp units
Main breaker
IG Filament gauge
Ion gun
Pig gauge
MAINTE Button cover
Holder
Lid plate
(4) Spare parts for protective board
No quartz oscillator
No EBGU
No dome
2010 vintage.
アルバックei-OPT085蒸発器は真空蒸着プロセスのために設計されている高性能装置です。基板表面に金属膜またはセラミックフィルムを堆積させるために構築された、物理蒸着（PVD）蒸着装置の一種です。このシステムは主に産業用途に使用され、そのような主な機能は、最大限の精度で異なる表面に薄膜成膜を提供することです。Ei-OPT085は対称設計および高真空の部屋が付いている単一基質の蒸化器です。円柱壁は、直径200mm、高さ600mmの耐久性の高いステンレス製です。蒸発器の熱抵抗は0。2 （C/s）です。さらに、優れた熱伝導率を提供し、基板表面が所望の温度に素早く到達するのに役立ちます。蒸着チャンバーには真空レベルの330μM/secがあり、出口圧力計があります。この蒸化器は、アルバック特許取得済みのA-モードフローブースター（AFB）技術を使用して、蒸気の流れを正確に制御します。これにより、堆積プロセスが一貫しており、信頼性が高いことが保証されます。ULVAC ei-OPT085は、機械部品の必要性を低減する可変周波数駆動ユニットによって駆動されます。Ei-OPT085には、精密な温度制御機、コンピュータ支援解析ツール、温度フィードバック制御資産、データロガーなど、いくつかの生産プロセス制御機能があります。さらに、蒸発器にはインテリジェントな蒸着制御能力、さまざまな重要なパラメータの自動監視、および迅速なプロセス調整機能があります。高度な冷却モデルは、蒸化器に優れた温度制御を提供し、不純物を最小限に抑えた高品質の成膜が可能です。全体として、ULVAC ei-OPT085蒸発器は物理蒸着のための高度な装置であり、信頼性の高い性能と高精度な結果をユーザーに提供します。独自の機能と効率的な設計により、このシステムは、半導体、電子、医療機器製造などの産業での使用に最適です。
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