中古 ULVAC EGO-40M #9078387 を販売中

ULVAC EGO-40Mは、薄膜蒸着に使用される急速熱蒸発器です。特に、太陽電池、バイオコンビナトリアル研究、MEMSデバイスなど、高い沈着率を必要とする用途向けに設計されています。EGO-40Mに正確で、再現可能な結果を保障する非常に精密な温度および蒸気圧力制御があります。アルバックEGO-40Mは、高性能マグネトロンを使用し、従来の蒸発器の10Xを超える高速蒸着速度を提供します。6ポケットマルチターゲットホルダーを使用して、最大6種類のターゲットを一度に収容でき、ターゲットを素早く簡単に変更でき、多層蒸着が可能です。EGO-40Mには、ターゲットの過熱を防ぎ、より高い沈着率を提供する特許取得済みのジェット冷却技術があります。ULVAC EGO-40Mには電源とVLCコントローラが内蔵されているため、直感的でユーザーフレンドリーです。ポケットごとに独立した温度制御を行い、蒸発温度を制御し、正確な温度制御を可能にします。EGO-40Mは、ユーザーが自分のレシピを作成し、データを収集し、他のシステムとのデータ通信を提供することができます統合されたPCを持っています。また、ULVAC EGO-40Mにはリーク検出信号を備えた真空モニタがあり、動作中にシステムが真空や漏れを失ったかどうかを示します。また、温度が設定値を超えたときにヒーターを遮断する過熱保護、および動作中の最適なチャンバー圧力を維持するのに役立つクローズドループ真空ポンプも備えています。EGO-40Mに小さい足跡があり、容易な取付けおよび維持のために設計されています。ULVAC EGO-40Mは、有機、金属、誘電体、III-V化合物、合金などさまざまな材料を蒸発させることができ、薄膜成膜のための汎用性の高いツールとなっています。高精度の安全性と保護機能を備え、ULおよびCEの安全基準に完全に準拠しています。高精度の温度および蒸気圧力制御、急速な蒸着速度、および複数のターゲット沈殿能力を備えたEGO-40Mは、薄膜蒸着アプリケーションに理想的な蒸着器です。