中古 ULVAC EBX-16C #9111735 を販売中

ULVAC EBX-16Cは、薄膜蒸着および半導体製造のために設計された高精度の蒸発システムです。この蒸発器は、蒸発源、プロセス制御パラメータ、およびチャンバーサイズの面で最大限の柔軟性を提供し、さまざまな蒸着アプリケーションの多様なニーズに対応します。蒸発器の加熱ゾーンには、16kWの高周波、Fast- Etch™アークガンが装備されており、加熱効率と均一な蒸着速度が向上しています。EBX-16Cは浅い円錐形の鐘の形をした熱された地帯を特色にし、詰まりを減らし、フィルムの均一均一性を保障するのを助けます。浅い鐘の形はまた熱損失を最小にし、より敏感な沈殿の間で蒸発物の温度を保つのを助けます。また、小さな基板に堆積するための個別のインジェクタも用意されています。ULVAC EBX-16Cは、低熱放射ダイオード式の温度コントローラを介して温度制御され、正確で調整可能で信頼性の高い温度制御を提供します。このシステムには、安全性と安定性を高めるアクティブエミッション制御も装備されています。EBX-16Cには高度な自動化が施されており、簡単かつ一貫して使用することができます。直感的なタッチスクリーン制御ディスプレイが付属しており、オペレータは関連するすべてのプロセスパラメータと設定にアクセスして変更することができます。ULVAC EBX-16Cは、データロギングと分析、および後処理機能を可能にするソフトウェアによってもサポートされています。EBX-16Cは、薄膜蒸着の精度と再現性のための最も要求の厳しい要件を満たすように設計されています。蒸発器の信頼できる性能、優秀な温度の均等性、および低い熱放出はそれを半導体産業の広い範囲の適用のための理想的な選択にします。ソフトウェアプログラミングを含む高度なプロセス制御技術を使用することで、ユーザーはより正確な結果を得ることができます。