中古 ULVAC EBX-10D #162906 を販売中

ULVAC EBX-10Dは、低真空アプリケーション用の蒸化器です。蒸着制御、蒸発速度、粒度、蒸発層の幾何学的配置のためのオールインワンツールです。この蒸化器に10g/minの最高の蒸発率があり、作業面積は80mmの長さx 90mmです。電気ヒートレジストヒーター、可変温度コントローラ、蒸着コントローラを備えています。これは、粒子の拡大と均一な蒸発速度分布を最小限に抑えるための誘導電界プラズマ源を特許取得しています。このEBX-10Dは、特に幅広い蒸発速度が必要な場合に、蒸発速度制御に最適なツールです。誘導電界プラズマ源で発生する電子ビームは、最大80×90mmのスキャン範囲と、0〜5。5kWの信頼性の高いAC電源を使用します。また、タイマー機能と、より良い堆積制御のための可変角度幾何学的配置を備えています。ULVAC EBX-10Dには、プロセスが開始するとすぐに蒸発速度と粒子サイズを測定する高度な制御システムもあります。この機能は、正確な堆積制御に役立ち、堆積プロセス中のコールドスポットを回避するのに役立ちます。また、サンプル全体に均一な温度分布を保証し、蒸発時間とコストを削減するための二重予熱モードを備えています。蒸発速度や粒度制御とは別に、高速オートバルブスイッチング機能を備えています。この機能は、汚染を低減し、迅速な真空サイクリングを可能にします。これは、サンプル表面に存在する充電粒子を中和するのに役立ちます。EBX-10Dはまた真空再生フィルターを備えており、真空の迅速な避難と安定化を可能にするだけでなく、薄膜アプリケーションでより良い結果をもたらします。最後に、ULVAC EBX-10Dにはスマートモード動作があり、ダウンタイムを最小限に抑え、中断のない動作を確保し、エネルギー消費を削減するのに役立ちます。この蒸化器のユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスは、さまざまな操作の詳細を制御するための理解しやすいインターフェースを提供します。このデバイスは、基板ホルダー、蒸発ソースホルダー、ガス混合システムなどのさまざまなタイプのアクセサリとも互換性があります。これにより、ユーザーの安全性と作業効率の向上が保証されます。したがって、EBX-10Dは低真空アプリケーション向けの信頼性の高い効率的な蒸発器です。