中古 ULVAC EBX-10C #293649865 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293649865
ヴィンテージ: 1982
Vapor deposition system
Chamber: 650×800 mm
(3) Resistance heating (Front door type)
Vacuum gauge
Film thickness gauge with revolving jig
Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min)
Required air pressure: 5kg/cm²G
Substrate holder size: 430 mm
Effective deposition range: 350 mm
1982 vintage.
ULVAC EBX-10Cは、薄膜成膜や表面処理などのアプリケーションに費用対効果の高い効率的な蒸発プロセスを提供するように設計された高性能の蒸発器です。この蒸化器は、高度な研究、開発、および生産プロセスに適しています。この蒸発器は、ULVAC Xシリーズプラチナめっき電極と特許取得済みのEBX (EVAPoration Bias eXchange)プロセスを備えています。この特許取得済みの技術により、蒸発器は入力エネルギーを最小限に抑えた高速蒸発を行い、堆積膜の高い均一性を実現します。蒸着速度の均一性が高いため、製品の歩留まりが向上し、プロセス時間が短縮され、高性能が得られます。EBX-10Cは真空堅いステンレス鋼の本体および信頼できる堅牢な真空装置から成っています。真空システムは、ターボ分子ポンプ、真空ゲージ、真空レギュレータ、オイルミストフィルターを備えています。このユニットは、安定した蒸発プロセスを可能にし、汚染物質の蓄積を低減します。蒸発器には高精度のマスフローコントローラとヒーターが装備されており、成膜プロセス中の正確な温度制御が可能です。マスフローコントローラは、熱入力と膜厚を正確に監視し、製品の一貫性を確保します。蒸発器には熱電対フィードバックマシンが装備されており、蒸着速度を監視して、正確な基板温度制御を維持します。ULVAC EBX-10Cには、蒸発器の自動制御を可能にする自動プログラマブルロジックコントローラ(PLC)も装備されています。PLCツールは、加熱速度、真空パラメータ、および膜厚を正確に制御します。この精密な制御は均一な蒸着を提供し、過剰蒸着または過剰蒸着を避け、結果として高性能および品質管理をもたらします。EBX-10Cの蒸発資産は非接触であり、より良い蒸着性能と安全性の向上を提供します。この蒸化器は、金属と金属の接触点がなく、追加の洗浄を必要としないため、メンテナンスが最小限に抑えられるように設計されています。ULVAC EBX-10Cは、効率的な薄膜蒸着および表面処理用に設計された先進的な高性能蒸化器です。この蒸発器は、堅牢な真空モデル、高精度のマスフローコントローラ、および正確な温度制御と均一な蒸着を可能にする動的熱電対フィードバック装置を備えています。PLCシステムのおかげで、EBX-10Cは自動化された制御も可能であり、優れた再現性を提供し、より高い製品歩留まりとプロセスのより良い制御を可能にします。
まだレビューはありません