中古 ULVAC EBX-1000 #9313807 を販売中

ULVAC EBX-1000は、高精度の薄膜蒸着用に設計された高品質の蒸発器です。それは沈殿の均質性を保障するために固定された10-6から10-7の圧力を保つターボ分子ポンプを利用します。物理蒸気輸送は、るつぼ源、電子ビーム源、またはマルチソースの組み合わせによって実現されます。専用の真空チャンバーは、転送システムと互換性のあるコンパクトな統合プラットフォームで設計されています。ULVAC EBX1000蒸発器は、蒸発室、ターボ分子ポンプ、蒸着監視装置で構成されています。蒸発チャンバーはステンレス製で、ゲートウェイフランジを備えており、るつぼ、電子ビーム源、またはマルチソースから材料を転送することができます。チャンバーは硬化し、さまざまなレベルの微化学保護を備えています。さらに、EBX 1000のターボ分子ポンプは、蒸発時の圧力を高精度に制御するために構築されています。内蔵の真のロータリースロットルバルブは、ポンプダウン時間を正確に調整します。さらに、低真空ブースターポンプと機械式ポンプを使用して、大きな負荷の残留ガスを効率的に排出します。蒸着監視装置は、精密条件下で蒸着速度を正確に制御することができます。それはリアルタイムで沈殿させたフィルムの厚さを監視するのに使用することができます。それはいろいろな種類の金属、絶縁体および有機性化合物を監視するように設計されています。この装置はまた、ターゲットの厚さ、蒸着速度、および沈着中/沈殿中を制御するためのさまざまなパラメータを備えています。さらに、異なる温度パラメータを監視することができ、材料沈着の効率的かつ迅速な配信を確保します。結論として、EBX1000蒸発器は、高精度の薄膜蒸着を可能にするように設計された高精度、高品質のデバイスです。それは密集した統合のプラットホームを特色にし、ステンレス鋼の部屋によって堅くされ、有効な蒸着のためのいろいろな種類の材料を監視するのに使用することができます。ULVAC EBX 1000は、真のロータリースロットルバルブ、低真空ブースターポンプ、および沈殿監視装置を内蔵し、効率的で正確な蒸着を提供します。