中古 ULVAC Custom #9076778 を販売中
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ID: 9076778
ウェーハサイズ: 28
ヴィンテージ: 1996
Vacuum coating chamber
High vacuum chamber, 96"
28" diameter
Long throw height
Load Locks for Parts and Crystals
EGL-80M 4-Pocket (110cc EA) E-Beam Gun
Process chamber: CTI-400 Cryo pump
Loadlock chamber: CTI Cryotorr 8F Cryo pump
Camera adaptable view: Robotic hand-offs
Pallet is the substrate stage: Rotatable
Glancing angle deposition (GLAD): 0 to 89 degrees
Main frame: 67" to 72" depth.
ULVACカスタム蒸発器は、医療生産から薄膜蒸着生産まで、さまざまな産業および研究アプリケーションで広く使用されています。これは、市場で最も正確で効率的で汎用性の高い蒸発器の1つです。カスタム蒸発器は、電子ビームおよび熱蒸発技術を使用して、薄膜やコーティングを基板に堆積させます。この蒸化器は、幅広い用途にハイレベルな性能と安定性を提供します。本体としての耐食性ステンレス鋼、蒸発器冷却のための力の換気、操作と制御を容易にするための完全統合されたタッチパネルなど、優れた材料を使用した慎重な設計とエンジニアリングによって実現されます。蒸発器は、幅広い応用領域にわたって正確な蒸着と均一なコーティング厚を提供する能力を持っています。これは、高精度のマスフローコントローラと専用のSEC処理チャンバを備えたオプションで実現されます。使いやすい自動制御機能により、ユーザーは目的の蒸着速度と温度を設定し、蒸着プロセスをリアルタイムで監視および制御できます。蒸化器の高温機能は金属、酸化物、有機材料および他のフィルム材料の精密な沈殿を可能にします。蒸発器の温度制御は、高速応答マスフローコントローラと正確に調整可能な加熱抵抗によって優れています。この温度制御により、SiCやダイヤモンドのような炭素などのハイエンド成膜材料に幅広いプロセスパラメータを設定できます。この蒸発器には、ファン付きの高効率の対流チャンバー、粗くて細かい排気フィルターシステム、および6クリスタルクォーツシャワーヘッドも含まれています。さらに、蒸化器の設計には、高度な換気技術と広大な表示ウィンドウが組み込まれており、プロセス全体が常に制御されていることを確認します。全体として、ULVACカスタム蒸発器は、さまざまな科学および産業用途に最適な高度で精密な蒸発器システムです。洗練されたデザイン、優れた素材、包括的なタッチパネル制御により、比類のない性能と安定性を提供します。その高精度で使いやすい機能により、カスタム蒸発器は薄膜蒸着およびコーティング用途に最適です。
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