中古 ULVAC CRTM-8000 #9105412 を販売中

ULVAC CRTM-8000は、薄膜材料の成膜における幅広い用途向けに設計された蒸発器です。この蒸発器には、高度な低温蒸気相輸送（VAPT）装置が装備されています。このシステムは、ULVAC特許取得済みのPrecise Electron Beam Source （PEBS）を使用しています。これは、堆積プロセスを制御するために特別に設計された磁気レンズと精密な電子ビームを使用します。CRTM-8000蒸発器は、標準的な熱蒸発よりもはるかに優れた、蒸気相の蒸着に伴う通常の精度と均質性を達成することができます。ULVAC CRTM-8000の温度範囲は0〜800℃、チャンバーサイズは120mm、真空定格は10〜7 Torrです。ガス拡散源メカニズムを採用し、複数のガスの蒸気位相輸送を高効率で実現しています。このユニットは、高度なフィードバック制御アルゴリズムを使用して、蒸気輸送および蒸着プロセスを制御します。CRTM-8000は熱均一性が高く、LPCVD（低圧化学蒸着）、PECVD（プラズマ強化化学蒸着）、スパッタリング蒸着（PVD）など様々な蒸着モードで使用できます。ULVAC CRTM-8000は材料の急速な蒸発および沈着を保障する急速な熱応答の時間を備えています。また、蒸着チャンバ内の安定した温度を正確に監視および維持できる高度な熱制御マシンを備えています。このツールは、高度な温度検出、加熱、冷却、および減衰技術を使用して、薄膜材料の精密な蒸着のための温度を最適化および維持します。CRTM-8000は、シングルウェーハまたはバッチ処理アプリケーション用に構成することができ、高性能コンポーネントと高度なアセット設計により、運用コストが低くなります。また、アモルファスシリコン、ポリシリコンなどの耐火材料の薄膜蒸着にも使用可能で、金属、セラミックス、ガラスなどの基板にも使用できます。ULVAC CRTM-8000は、幅広い用途向けに設計された効率的で費用対効果の高い蒸発器です。高度な機能により、精密な温度制御と相まって高い蒸着精度と均質性を実現し、さまざまな薄膜蒸着プロセスに最適なソリューションです。