中古 OERLIKON / LEYBOLD 450B #9254671 を販売中
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ID: 9254671
ヴィンテージ: 2009
Vacuum coating machine
With digital display
Touch panel control
AS 053 Digital control
TB20 Turbo drive readout
D65B Vacuum pump
TRIVAC D 65-V Vacuum pump
INFICON SQC-310 Deposition digital controller
THERMO FISHER / NESLAB ThermoFlex 1400 Recirculating chiller
2009 vintage.
OERLIKON/LEYBOLD 450Bは、半導体や光学コーティングなどの用途向けの高温精密薄膜を製造するために使用される蒸化器です。単分子から数ミクロンまでの厚さの有機、無機、高分子薄膜の成膜を可能にする低圧蒸着プロセスを利用しています。蒸発器のヒーターアセンブリは、個別に調整できる4つの加熱ゾーンを使用しており、多目的で正確な温度制御と段階的な温度変化を可能にします。加熱ゾーンには、それぞれ高精度で迅速な応答性のセラミックヒーターが含まれています。電源は、急速な加熱と冷却サイクルの両方に正確かつ安定した電力を提供するように設計されています。蒸発器は、効率を高め、プロセス制御を改善するために水冷可能なチャンバーを使用しています。開始材料はペレット、微粒、または固体の源の形である場合もある。その後、材料は高真空チャンバーにロードされます。水冷可能なサンプルボートは、蒸発点の下の温度で材料を維持するのに役立ちます。サンプル材料は、るつぼ蒸発器と側排気口の間の圧力差動を適用して蒸発されます。材料は前駆体を介してプロセス室に入り、反応ガスと混合されます。材料を基板に堆積させ、薄膜を形成します。LEYBOLD 450Bの制御システムは、堆積プロセスを簡単かつ正確に制御するために設計されています。これは、蒸着時間、膜厚、空間均一性、総圧力監視などの動作パラメータの選択と監視のための高度な機能を備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、カスタマイズ可能なユーザー定義の自動レシピがあり、将来の実行のために保存してリコールすることができます。OERLIKON 450B蒸化器は、プロセス性能の向上、プロセスの信頼性の向上、および柔軟なユーザー制御を備えた高品質の薄膜の製造に最適なソリューションです。薄膜の成膜用途に最適で、幅広い材料に優れた結果を出すことができます。
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