中古 LEYBOLD HERAEUS L 560 #9094443 を販売中
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ID: 9094443
ウェーハサイズ: 4"-6"
E-Beam Evaporator, 4"-6"
Unit can deposit (8) each 4" substrates simultaneously
Or (5) each 6" substrates
Vacuum chamber nonmagnetic stainless steel
Inner diameter: ~ 550 mm
Chamber with frame: 1,810 x 830 x 1,200 mm
Control cabinet: 1,810 x 570 x 810 mm
High-vacuum pumping system
Turbo-molecular pump: TURBOVAC 1000
Pumping speed for N2: 1,000 liter/s
Rotary vane pump: TRIVAC D65B
Pumping speed: 65m³/h
LN2 cooling trap
Consumption: ~ 1 liter/h
Viewing baffle: Automatic pumping-system control
Vacuum gauges
Fore-vacuum meter: TM220S 10-³ to 10³ mbar
High-vacuum meter: IM 210 10-9 to 10-³ mbar
E-beam source:
E-beam gun: ESV 6-270, 4 kW
E-beam evaporation source with 4 pockets
Diameter of 1 pocket: ~ 20 mm
Glow Discharge Unit for pre-cleaning
(1) Holder for quartz microbalance crystal
Inficon deposition controller XTC/2 connected to crystal unit
(2) Thermal Evaporators with shutters
(3) Gas-flow meter with MKS MFCs
Chamber:
Carousel diameter: 450 mm
Chamber size: 560 W x550 D x 580 H mm
Vacuum Pumps:
TRIVAC D65, RUVAC WS251 and Leybold Turbopump Turbovac 1000 with 1000/1500 Turbotronic
Cooling system:
Water cooling of e-beam source
Cooling water lines placed around the chamber
Heating system:
No water heating of the chamber
Includes equipment for wafer and chamber heating
Substrate Holder:
Holder can be chosen to rotate during the whole process.
LEYBOLD HERAEUS L 560蒸化器は有機材料および水溶液の熱蒸発のために設計されている高性能、自動制御された蒸化器です。L 560は蒸着室を使用しており、揮発性および半分解性化合物の精密に制御された効率的な熱分解を可能にする独自の蒸着技術を提供します。この蒸化器は、製品汚染のリスクを最小限に抑える低コストで高効率な蒸化器の設計を特徴としています。LEYBOLD HERAEUS L 560は、簡単で直感的な操作と組み合わせた自動温度と圧力設定を備えており、ユーザーは各実験の蒸発器を素早くセットアップできます。蒸発器は特定の材料に対して事前に定義されているため、ユーザーは簡単に蒸発プロセスを複製し、セットアップを研究やアプリケーションのニーズにすばやくマッチさせることができます。シンプルで使いやすい機器を使用すると、機器のディスプレイから即座に設定をすばやく調整できます。L 560は静止したガラス蒸発器のコラムおよび暖房およびプロダクトスループットを調整する調節可能な暖房版を特色にします。蒸発器の高出力、低電圧加熱板は、システムを電流過負荷から保護しながら、材料の広い範囲の蒸発を保証します。調節可能な暖房版はユーザーがオーブンの温度を正確に制御することを可能にし、反復可能な蒸発プロセスを可能にします。LEYBOLD HERAEUS L 560は、人間工学に基づいた信頼性の高い換気ユニットを提供し、蒸発器室から熱と発煙を抽出し、それらを効率的に2つの容易にアクセス可能なダクトの1つに転送することができます。調節可能なエアフローレギュレータは、蒸発速度を高度に制御し、均一な乾燥と乾燥温度を確保します。さらに、フレキシブルダクトのフレキシブルマシンは、蒸発器内の静かな動作と空気循環を保証します。L 560は2つのこし器を通して大気をろ過する高度のろ過用具が装備されていて、蒸化器の部屋に達する前に塵および粒子を集めます。この高度なろ過アセットは、可燃性材料の安全性と安全な動作を保証します。LEYBOLD HERAEUS L 560には、サンプルホルダー、サンプルトレイ、蒸発器フラスコなど、さまざまなアクセサリーが用意されており、ユーザーが成功し、再現可能な蒸発プロセスに必要なものをすべて揃えています。用途に関係なく、L 560は有機材料および水溶液の信頼性の高い熱蒸発を提供します。
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