中古 DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927 を販売中

製造業者
DENTON VACUUM
モデル
Explorer 14
ID: 293774927
Sputtering system Deposition chamber: Chamber and control cabinet 304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall) Substrate size capability: 100 mm Ø Magnetron capability: Up to 3" target diameter Internal chamber deposition shield Deposition chamber pumping: Turbo pump and controller range: 620 l/s EDWARDS XDS10 Dry scroll pump High vacuum 3-Position gate valve Vacuum gauging and process gas control: Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS (2) Mass flow controller (Ar and N2) MKS Controller Sputter sources: (3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts" (3) Flex type, planar magnetron sputter sources Direct cooled for Ti (3) Independent electro-pneumatic cathode shutters Control and automation: Color touch panel control and graphical status display Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic Substrate stage: RF Bias DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly RPM: 0-20 Sputter power supplies: DC Power supply: 1 kW RF Power supply: 300 Watt DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14は、一般的に蒸発器として知られている先進的な薄膜蒸着装置です。この最先端の装置は、高真空環境での物理蒸着(PVD)プロセスを通じて、さまざまな材料の薄膜を作成するように設計されています。Explorer 14は、革新的な技術と優れた性能で知られる薄膜蒸着装置の大手サプライヤーであるDENTON VACUUMによって製造されています。DENTON VACUUM Explorer 14は、マイクロエレクトロニクス、光学、材料科学などの分野の研究や産業アプリケーションに最適な幅広い機能と機能を備えています。薄膜成膜の精密な制御・均一化を目的として設計されており、研究者や技術者は、優れた接着性と均一な厚さの高品質な膜を実現することができます。Explorer 14の主な特徴の1つは、抵抗熱蒸発源、電子ビーム蒸発源、スパッタ源を含む多目的な蒸着源です。これらの材料は、金属、酸化物、窒化物などの幅広い材料を堆積させることができ、沈着速度やフィルム特性を優れた制御が可能です。このユニットは、複数の基板サイズや形状にも対応しているため、幅広いサンプルタイプや用途に適しています。DENTON VACUUM Explorer 14には、薄膜成膜に必要な高真空条件を作成および維持するための高度な真空ポンプおよび圧力制御システムが装備されています。この機械には、高速ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプが含まれており、超高真空範囲でベース圧力を達成し維持するために協力しています。精密な圧力制御は、蒸着プロセス中にガスの流量と組成を調整できる高度なガス流量制御ツールによって容易になります。Explorer 14はユーザーフレンドリーなインターフェイスとソフトウェア制御アセットを備えており、堆積プロセスの簡単な操作と監視を可能にします。このモデルは、複雑な成膜シーケンスを自動的に実行するようにプログラムすることができ、ユーザーは特定のフィルム構造や特性のためのカスタマイズされた成膜レシピを作成することができます。装置の直感的なソフトウェアインターフェイスを通じて、蒸着速度、膜厚、基板温度などの蒸着パラメータをリアルタイムで監視します。DENTON VACUUM Explorer 14は、薄膜成膜の高度な機能に加えて、メンテナンスと保守性を容易にするように設計されています。このシステムには、蒸着源や真空部品への容易なアクセスなどの人間工学に基づいた設計機能、および部品の交換とアップグレードを簡素化するモジュール構造が含まれています。DENTON VACUUMは、Explorer 14のパフォーマンスと稼働時間を最大化するための包括的なテクニカルサポートとトレーニングを提供します。全体として、DENTON VACUUM Explorer 14は最先端の薄膜成膜ユニットで、優れた性能、汎用性、および幅広い研究および産業用途での使いやすさを提供します。高度な機能と機能を備えたExplorer 14は、正確な制御と再現性を備えた高品質の薄膜を作成しようとする研究者やエンジニアにとって貴重なツールです。
まだレビューはありません