中古 BALZERS BA 501 #293688210 を販売中

製造業者
BALZERS
モデル
BA 501
ID: 293688210
Rotary pump Protection degree: IP55 Final pressure with gas ballast: 1 hPa, 0.75 Torr, 1 mbar Final pressure: 5 x 10^-2 hPam, 3.75 x 10^-2 Tor, 5 x 10^-2 mbar Connection flange (in): DN 100 ISO-F Connection flange (out): DN 100 ISO-K Input voltage(s): 460 V AC (±5 %), 60 Hz Rated power 60 Hz: 18 kW Motor type: 3-Phase motor Motor protection: PTC No mains cable Cooling water pressure: 2,000-10,000 hPa, 1,500-7,500 Torr, 2,000-10,000 mbar Cooling method: Water Cooling water flow: 90 l/h Ambient temperature: 12-40 °C, 53.6-104 °F, 285-313 K Cooling water temperature: 10-30 °C, 50-86 °F, 283-303 K Exhaust pressure: Min: Atmospheric pressure Max: 1,500 hPa, 1,125 Torr, 1,500 mbar Nominal rotation speed at 60 Hz: 1,800 rpm, 1,800 min-1 Nominal rotation speed pump, 60 Hz: 345 min¹ Gas ballast P3 Operating fluid: 45 L Without safety valve HV Power supply: 3-Phase motor, 460 V, 60 Hz.
BALZERS BA 501は、エリコングループの部門である有名な真空技術メーカーBALZERSによって開発された高性能の蒸発器です。この蒸化器は、真空環境において精密な薄膜蒸着を必要とする材料科学、研究、産業プロセスにおける幅広い用途に対応するよう設計されています。BA 501は、薄膜成膜のための汎用性と信頼性の高いツールになる高度な機能と機能を備えています。この蒸化器は、金属、酸化物、窒化物などのさまざまな材料を高精度で均一な基板に堆積させることができます。これにより、半導体デバイス、光学コーティングなど、膜厚や組成を正確に制御する必要のある用途向けの薄膜を作成するための理想的なソリューションとなります。BALZERS BA 501の特徴の1つは、高品質の薄膜堆積を実現するために不可欠な高真空性能です。この装置には、蒸着プロセスに必要な超高真空条件を作成し、維持することができる高容量ポンピングシステムが装備されています。これにより、堆積膜は汚染物質や欠陥から解放され、優れたフィルム品質と性能をもたらします。蒸発器はまた蒸発源の温度を精密に制御することを可能にする洗練された暖房装置が装備されています。これにより、ユーザーは、接着、密度、結晶性などの望ましいフィルム特性を達成するための最適な温度で材料を堆積することができます。また、基板表面全体に均一な蒸着を保証する回転基板ホルダーを備えており、堆積膜の品質と一貫性をさらに向上させます。高度な機能に加えて、BA 501は操作と維持を容易にするユーザーフレンドリーな機能で設計されています。このツールにはユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、堆積パラメータの設定、プロセスのパフォーマンスの監視、作業中に発生する問題のトラブルシューティングなど、堆積プロセスを直感的に制御できます。この資産には、潜在的な危険からユーザーと機器の両方を保護するための安全メカニズムが組み込まれています。BALZERS BA 501は、ユーザーの介入を最小限に抑えて複雑な蒸着プロセスを実行するようにプログラムすることができる完全自動化モデルです。これにより、一貫した信頼性の高い薄膜蒸着が不可欠な大量生産環境向けの費用対効果の高いソリューションとなります。さらに、装置は設計でモジュール式であり、異なった適用および企業の特定の条件を満たすために容易なカスタム化および拡張を可能にします。全体として、BA 501は最先端の蒸発器であり、先端技術、高性能機能、ユーザーフレンドリーな機能を組み合わせて、薄膜成膜に多用途で信頼性の高いソリューションを提供します。BALZERS BA 501は、研究室、学術機関、工業生産施設で使用されるかどうかにかかわらず、薄膜蒸着技術の精度と品質の基準を定めています。
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