中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9263379 を販売中
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ID: 9263379
ヴィンテージ: 2010
E-Gun evaporators
System frame with clad panels
Mounting frames
Rack cabinet for control units, 19"
Mains and safety elements with emergency shut-down
Deposition chamber
Single walled: 304L Stainless steel and electro-polished
Semi rectangular pipes dimension for cooling: 630 x 850 mm
Front opening / closing door
With automatic electro-magnetic lock / unlock
Viewport diameter front door, 4.0"
Optically reflector
Shielding parts
Baseplate:
6 Holes diameter, 1"
High voltage
Sweep signal
Crucible index drive
E-gun body cooling
Shutter drive feed through
Sidewall:
Rectangular flange for HV valve: 16" x 11"
KF 40 Flange for heating power feed through
(3) KF 25 Flanges for thermocouple feed through and ion gauge head
(3) KF 16 Flanges for venting valve and pirani gauge head
35 CF Flange
Top plate:
Fitting gas inlet feedthrough: 1 Hole 1" dia
Rotation drive and quartz sensor feedthroughs: 1 Hole 5" dia
Deposition chamber pumping system and vacuum measurement:
CTI-CRYOGENICS Torr-10 Pump, 10"
CTI-CRYOGENICS 9600 Liquid helium cryogenics water-cooled compressor
Auto-regeneration function for cryo pump
GP 307 Vacuum gauge controller: ATM ~5.0E-10 torr
GP 274 Ion gauge head: 1.0E-02 torr ~1.0E-09 torr
(2) GP 275 Pirani heads with tungsten filament: ATM ~5.0E-04 torr
Accessories for substrate stage:
Substrate carrier rotary driver
Substrate carriers
Substrate heating
Accessories of process sources:
JOEL JST-3F Electron beam evaporator
Type: JEBG-203UA
Source with deflection: 270°
Uniform energy distribution
High speed scanning
Water cooling feed through
X and Y Sweep signal feed through
Single crucible 20 cc
Remote control
Shutter drive
Gas inlet systems
Process controller / Layer thickness measurement:
MAXTEK MDC-360C Layer thickness
Rate and process control unit
Process control: RS-232 Interface
Multi-film and multi-process storage: Up to (99) materials
2010 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I蒸化器は、最高の効率と性能のために設計された先端技術産業蒸化器です。この蒸発器は、熱冷却、蒸留、凝縮などの効率的な蒸発を必要とするさまざまな産業用途向けに設計されています。AST Peva-600I蒸発器は、加熱および膨張蒸気を利用して作動流体を蒸発および凝縮する高圧クローズドループ・システムで動作します。これにより、エネルギー消費量を大幅に削減しながら、最大の効率と製品品質を保証します。その高圧機能により、他の蒸化器よりもはるかに高い圧力で動作することができます。高度の単位の技術PEVAの600I蒸化器は丈夫な、ステンレス鋼フレームの組み立てられ、顧客の要求に従って設計することができる多くの注文の特徴があります。それは信頼できる性能を保障するために良質、防蝕、シーリング機械を含んでいます。Peva-600I蒸化器の最高効率を確保するために、多くの革新的な機能が含まれています。蒸発器には高品質の低圧調整バルブが装備されており、供給液の流れを最適化して最大限の効率を発揮するように設計されています。また、圧力の精密な調整を可能にする調整可能な圧力計が含まれており、最適な速度と性能を可能にします。簡単に操作できるAST PEVA 600I蒸発器には、高効率の熱交換器と、制御アセットを内蔵して簡単に調整できる高効率の凝縮ツールも含まれています。調節可能なプレート熱交換器を使用して、最高温度で製品を生成することができます。PEVAの600I蒸化器は最低の維持の条件の容易な操作および取付けのために、設計されています。メンテナンスは、部品や部品の定期的な洗浄と潤滑、および摩耗した部品の定期的な交換に限定されます。AST/ADVANCED MODEL TECHNOLOGY PEVA 600I蒸発器は、流体の効率的な蒸発および凝縮を必要とする高性能の産業ソリューションを提供するように設計されています。それは実験室、食品加工、蒸留および冷却の適用にとって理想的です。優れた設計構造と高度な機能により、この産業蒸化器は優れた性能と信頼性を提供し、産業用途にとって費用対効果の高いソリューションです。
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