中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9073292 を販売中

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I
ID: 9073292
ヴィンテージ: 2009
ITO Evaporator Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield Material usage: > 20% Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) Full automatic, intelligent PC control system Specifications: Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6") for Planetary Domes E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option) Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option) Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option) Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃ Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A, Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2 CDA Requirement: 5 kgw/cm2 Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min 2009 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY AST/ADVANCED EQUIPMENT TECHNOLOGY Peva-600Iは、重。それは急速で、高性能の操作、優秀な性能および長い耐用年数を提供する革新的な設計を特色にします。蒸発器の最適化された設計は、特許取得済みのインナーフィンシステム、ヘビーデューティコンデンサ、および堅牢な外殻に基づいています。インナーフィンユニットは、AST Peva-600I蒸発器の重要な特徴であり、市場で他の蒸発器を超える性能を迅速に提供することができます。絶縁蒸気ダクトや高効率冷却板などの革新的なエンジニアリング技術を活用することで、蒸発器は凝縮を最大化し、エネルギー消費を最小限に抑えることができます。さらに、内側のひれ機械は、表面積を増加させ、空気抵抗を最小限に抑え、750°Fまでの高い冷却率と高い熱伝達効率をもたらします。フィンツールは頑丈な動作条件で最大の耐久性のために頑丈な構造が装備されています。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY PEVA 600Iには強力なコンデンサーが装備されており、より高い温度で動作することができます。コンデンサーは耐食性のステンレス鋼および連続ひれ構造を使用して長続きがする操作および優秀な効率を保障するように設計されています。その頑丈な構造により、コンデンサーは高温および拡張ライフサイクル性能に対応できます。ADVANCED MODEL TECHNOLOGY Peva-600I蒸化器の外殻は、非常に耐久性と弾力性のある材料で構成されており、極端な条件で優れた保護を提供します。このシェルは、ほこり、湿気、蒸気が蒸発器の性能に影響を与えるのを防ぐように設計されており、長い運用寿命にわたって最適な性能を維持するのに役立ちます。最高の効率および安全を保障するためには、ADVANCED EQUIPMENT TECHNOLOGY AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY PEVA 600I蒸発器は厳密な業界標準に合います。これは、過冷却および/または過熱の可能性を最小限に抑えるために、安全スイッチ、温度安全弁、圧力リリーフバルブなどの最新の安全機能と制御を備えています。さらに、蒸化器は、制御および監視システムの範囲で構築されており、ユーザーは簡単に温度、圧力、およびその他の動作条件を監視することができます。AST/ADVANCED UNIT TECHNOLOGY/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY Peva-600I蒸化器は、過酷な産業用途において効率的で信頼性の高い性能を提供する先進的で革新的な蒸化。その最適化された設計と安全基準への厳格な遵守は、市場で初めて蒸発器の1つになります。高効率運転、優れた性能、長寿命のPEVA 600Iにより、冷却システムを最大限に活用することができます。
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