中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9059482 を販売中
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ID: 9059482
ヴィンテージ: 2012
ITO Evaporator
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6")for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I蒸化器は、効率的な空調および冷凍システム用に設計されたASTです。小型アンパック（アンモニア蒸気圧縮機）を使用して空気を冷却し、空間の空気湿度を低減する自己完結型の空冷ユニットです。このユニットは、最適なエネルギー出力で効率的な冷却を提供します。この蒸発器は-20から35°Cまで及ぶ温度の産業適用のための理想的な適合です。AST Peva-600I蒸化器は、堅牢な技術ポリマー壁と頑丈なフレームで構築された、信頼性の高いインテリジェントな技術です。効果的に空気から熱を伝達するように設計されており、効果的かつ効率的な冷却能力を可能にします。このユニットは、統合された凝縮パンシステムを使用して、余分な凝縮物の蓄積を捕捉および除去し、微生物や腐食の損傷を防ぎます。ファンの速度は快適で一貫した空気温度が維持され、高い流量が達成されることを保障するために調節可能です。高度なユニット技術PEVA 600I蒸化器には、簡単かつ正確な診断と温度制御を可能にする内蔵のLEDディスプレイが付属しています。ユーザーは、希望する冷却効果に合わせて温度設定を簡単に調整できますが、診断コードの選択により、簡単で便利なトラブルシューティングが可能です。ディストロブロック機能により、流量を改善し、1台のマシンで独立して動作する複数の蒸発器を使用できます。この機能により、冷却能力を高めるために、さまざまな蒸発器を直列に積み重ねることができるため、利用可能なサージ量が増加します。AST PEVA 600I蒸化器は安全性を考慮して設計されています。センサーを使用して、ツールの故障を検出し、高圧または低圧、気流の減少、温度の不均衡などの潜在的な問題をユーザーに警告します。また、動作不規則性を検出し、誤動作をユーザーに警告する統合自己診断およびアラームも含まれています。高度な資産技術Peva-600I蒸化器は、信頼性が高く、効率的で強力な空調および冷凍モデルです。これは、電力消費を最小限に抑えて動作する安全で堅牢で信頼性の高い空冷装置を必要とする産業用途に最適なソリューションです。ユニットは、高効率、耐久性、安全性だけでなく、簡単なインストールとメンテナンスを提供しています。
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