中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600EI #9238802 を販売中
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販売された
ID: 9238802
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 2004
E-Beam evaporator, 4"-8"
Deposition materials: Al, Au, Ni, Ti, Pt, Ge, ITO, Cr and Ag
Deposition controller: MAXTEK MDC-360C
Thickness accuracy: 0.5% + 1 Count
E-Gun: Diameter 600 mm x height 800 mm
TELEMARK TT-6 Control power supply
System frame with clad panels
Mounting frames with height adjustable transport rollers
Rack cabinet, 19"
Cooling water distributor with valves
Deposition chamber:
Single walled made of 304 L stainless steel electro-polished
Welded on semi rectangular pipes for cooling and heating
Front opening / Closing door with automatic electromagnetic lock / unlock
Deposition chamber pumping system and vacuum measurement:
CTI-CRYOGENICS Torr-10 Pump (9,000 L/sec for H2O)
CTI-CRYOGENICS 9600 Liquid helium water cooled compressor
Auto regeneration function for cryo pump
(2) Stages rotary vane pump with KF 40 inlet flange
Compressed air distribution
GP 307 Vacuum gauge controller
GP 274 Ion gauge head
(2) GP 275 Pirani heads with tungsten filament
Process controller / Layer thickness measurement:
Process control with RS-232 interface
QUARTZ Sensor with 6 MHz oscillator
With cooling water lines and signal cables
E-Beam evaporator, 6 kW type 265
With wafer substrate holder, 4" x 4", 6" x 2", 8" x 2"
(4) Pockets of 25 cc
MDC-360C Power supply
TT6
Power supply: AC 220 V, 60 Hz, 70 A, 3 Phase, 4 Watts
2004 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600EI蒸化器は、食品加工およびその他の産業用途における物質から水を除去するように設計された工業用グレードの蒸化器です。蒸発器は、効率的で信頼性の高い性能を確保するために高度な技術を利用しています。この蒸発器は、蒸発器本体から分離されたコンデンサーを備えた革新的な設計を特徴としています。これにより、物質を冷却するために使用される冷媒が、蒸化器の敏感な物質と漏れたり接触したりするのを防ぐことができます。蒸発器はまた、操作中に交換器内の圧力に耐えることを保証するために、ハイテク材料を使用しています。AST Peva-600EIは、高度な技術を活用して効率を最大化し、エネルギー消費を最小限に抑えます。この蒸発器は、蒸発器がスタンバイモードになっているときに消費電力を削減する省電力機能を備えています。蒸発器はまた、蒸発器内の温度と圧力を連続的に測定し、それに応じて凝縮率を調整する洗練された温度と圧力センサーを備えています。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600EIは、最大80kg/時間の気化能力も備えており、蒸発器で処理される物質から大量の水分子を迅速かつ効果的に除去することができます。この蒸化器はまた必要に応じて蒸化器を整備するか、または修理するために容易なアクセスを可能にする取り外し可能な蒸化器ハウジングを特色にします。Peva-600EI蒸化器は信頼できる操作の多くの年を保障するために耐久材料と組み立てられます。蒸発器には、潜在的な問題をオペレータに通知する可聴および視覚アラーム付きの安全ユニットも内蔵されています。この蒸化器はまた付属品の蒸化器ボディのための限られた2年の保証および1年の保証によってカバーされます。AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY Peva-600EI蒸化器は、食品加工およびその他の産業用途向けの信頼性の高いエネルギー効率の高い蒸化器を探しているときに理想的な選択肢です。高度な機能、使いやすい制御、およびカスタマーサービスサポートにより、この蒸発器は、さまざまなアプリケーションに対応できる信頼性の高い効率的な蒸発器を必要とする人に最適です。
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