中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E #9059480 を販売中

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E
ID: 9059480
ウェーハサイズ: 2 to 6
ヴィンテージ: 2011
Metal evaporator, 2"-6" Includes: (1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.) (2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield (3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%) (4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) manufacturing process with optimum reliability (5) Full automatic, intelligent PC control system Specifications: Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option) Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option) Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option) Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃ Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A, Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2 CDA Requirement: 5 kgw/cm2 Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min 2011 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600E蒸化器は、さまざまな商業および産業用途で優れた熱性能を提供するように設計された非常に効果的で信頼性の高い蒸化器です。この蒸化器は安全、耐久性および効率のための最高基準を満たすように設計され、製造されます。AST Peva-600E蒸発器には密閉型のクローズドループシステムが装備されており、大幅な蒸発損失を発生させることなく水の循環を可能にします。この蒸発器は、高度なMicroComputer-Control (MC-C)技術を使用しており、蒸発器の動作と温度を監視および調整するのに役立ちます。これにより、ユニットのパフォーマンスが向上し、安全で信頼性の高いことが保証されます。さらに、このユニットは自動給水機で設計されており、蒸化器への不要な過剰容量を防ぐのに役立ちます。高度な工具技術Peva-600E蒸発器は、ガス、電気、蒸気など、さまざまなエネルギー源で動作することができます。これにより、ユーザーは蒸化器を操作する最も費用対効果の高い効率的な方法を選択することができます。エネルギー効率に関しては、Peva-600E蒸化器は14。3のエネルギー効率比(EER)で評価されます。これにより、中程度から重量要件のアプリケーションに最適で、省エネルギーを最大化するのに役立ちます。蒸化器の高められた熱伝達率はそれを同じような容量の他の蒸化器と比較して非常に有効にします。さらに、低圧降下、正確な温度制御、およびより良い冷却効果を生成することができます。AST/ADVANCED ASSET TECHNOLOGY Peva-600E蒸発器は、耐久性と寿命を確保するのに役立つ高品位の熱力学アルミニウムベースのハウジングで設計されています。これにより、スタンドの過酷な運用環境を可能にし、ユニットの安全性を確保するのに役立ちます。さらに、この耐食性ハウジングにより、信頼性の高い性能を提供し、長期にわたって最適な温度レベルを維持することができます。AST Peva-600E蒸発器はまた、その性能を監視し、蒸発器で起こりうる問題を検出するのに役立つ内蔵の自己診断モデルで設計されています。本装置は、不具合やその他の問題が発生した場合に自動的にユーザーに警告を発し、ユーザーは是正措置を講じ、システムをスムーズに稼働させることができます。さらに、ユニットには、必要に応じて起動する緊急シャットダウンマシンも装備されています。全体的に、高度なツールテクノロジーPeva-600E蒸発器は、効果的で効率的な蒸発器を探している商業的または産業的な設定に理想的な選択肢です。その高度な技術、効率的な操作、組み込みの安全機能により、信頼性と信頼性の高い選択肢となります。さらに、コンパクトな設計と耐腐食性ハウジングにより、スペースが限られている環境に最適です。
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