中古 AIRCO TEMESCAL FC 3200 #9195626 を販売中
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ID: 9195626
E-Beam evaporator
GE FANUC PLC Control system
Integrated cryo pump regeneration
Process recipe control
Data logging
On board flat screen integrated Windows PC
32” x 32” S/S Process chamber (Water cooled)
10.6" High speed flat planetary
Operator / Engineer computer interface includes:
Data logging of: Ion & convectron, valves & chamber heat
User level system control
Integrated cryo pump regeneration control
Process recipe editing
TELEMARK TT-6
Digital display
Programmable sweep control
6-Pocket electron beam gun
5kVA SCR Controlled transformer
Fixture to accept customer specified thermal evaporation boats
Feedthroughs for one restive thermal source
(2) Separate source shutters
(2) 2kW Heater assemblies with feed throughs
4kW Temperature control
(2) Ion / (4) Convectron gauges
VV-400 View port with shutter
PLC Closed loop pressure control through: 02 MFC / GRANVILLE PHILLIPS 354
CTI 400 Cryo pump with CTI 1020R compressor
PLC Controlled automatic regeneration
N2 Purge gas heater
Deposition rate monitor: MAXTEK 6 MHz quartz crystal sensor
Programmable:
For material density
Acoustic impedance
Tooling factor
(3) Planets:
(4) 4” Variable speed single plane planetary systems
(12) Wafers per run
LEYBOLD D-30, 2-stage direct drive 26cfm mechanical pump
Pump base pressure: 12 Micron or better
Includes:
Manuals
Schematics binder
Options:
Multi pocket E-beam source
(2) Large volume single pocket guns.
AIRCO TEMESCAL FC 3200蒸発器は、商業冷凍システム用に設計された蒸発器です。それは頑丈なステンレス鋼の構造からなされ、防蝕終わりで塗られます。蒸発器は容易なアクセスおよび整備のための取り外し可能なフードの設計を特色にします。それは装置の効率および信頼性を高めるために密封された圧縮機が装備されています。この蒸発器は、冷媒回路交換技術を備えた蒸発器を備えたオールアルミフィンチューブコンデンサーを使用し、機械的膨張と自然膨張の両方を組み合わせて冷媒の熱特性を向上させます。FC 3200には可変スピードモーターとASC （Automatic System Controller）が搭載されており、ユニットの精度と効率を向上させます。それはまた冷凍機から湿気および粒子状物質を保つのを助ける内部フィルターカートリッジを含んでいます。蒸発器は4-36トンから及ぶ容量の広い範囲があり、低温の適用のために適しています。蒸発器はまたULによって確認され、安全および品質保証のためにリストされているCULです。工具部品の面では、AIRCO TEMESCAL FC 3200は、密閉型コンプレッサー、オールアルミニウムフィンチューブコンデンサー、冷却回路交換技術を搭載した蒸発器、変速モータ、自動アセットコントローラ（ASC）を採用しています。構造の点では、それは耐食性の終わりと塗られる頑丈なステンレス鋼からなされ、容易なアクセスおよび整備を可能にする取り外し可能なフードの設計を特色にします。また、安全性と品質保証のためにULが認められ、CULがリストされています。最終的に、FC 3200は低温の適用のための商業冷凍システムのために設計されています。4〜36トンの広い容量を有し、優れた熱特性、精度、効率を提供します。信頼でき、安定した性能のための密封された圧縮機そして可変的な速度モーターのおかげで、AIRCO TEMESCAL FC 3200は商業冷凍のための理想的な選択です。
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