中古 AIRCO TEMESCAL FC 3200 #175666 を販売中
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販売された
ID: 175666
Thermal evaporation system
Dual electron beam
Process chamber: 32" x 32", water-cooled
Flat planetary: 10.6", high speed
Control system: GE Fanuc PLC
Integrated cryo pump regeneration
Process recipe control
Data logging
Onboard flat screen integrated Windows PC
GE Fanuc PLC control system: Windows based PC with keyboard and trackball mouse
General Electric Cimplicity HMI Software
Operator / Engineer computer interface includes:
Data logging of: Ion & Convectron, valves & chamber heat
User level system control
Integrated cryo pump regen control
Process recipe editing
All required software programming
(2) Telemark TT-6, digital display and programmable sweep control
(2) single pocket Temescal electron Beam Guns
5KVA, SCR controlled transformer and fixturing to accept customer specified thermal evaporation boats. Feedthroughs for one resistive thermal source
(3) Separate source shutters for each source
(2) 2kw heater assemblies with feed throughs and temperature control, 4KW total
2 Ion / 4 Convectron gauge
32" x 32" S/S Process chamber (water cooled) with full opening door with viewport
VV-400 viewport with shutter, installed in lower chamber to view sources during deposition process
PLC closed loop pressure control through 02 MFC / Granville Phillips 354
Operational CTI 400 Cryo Pump with CTI 1020R compressor. PLC controlled automatic
regeneration and N2 purge gas heater
Deposition rate monitor using a Maxtek 6 mhz quartz crystal sensor, programmable
(3) planets for (4) 4" inch variable speed single plane planetary system; 12 wafers/run
Separate free standing rack for thermal power supply transformer and TT6 power units
Leybold D-30, 2 stage direct drive 26cfm mechanical pump.
AIRCO TEMESCAL FC 3200蒸発器は、さまざまな商業、産業、住宅用途に対応するように設計された高度で効率的な冷却装置です。この蒸発器は理性的なデジタル温度調整と共に高性能の直接ドライブモーターを特色にし、一貫した冷却と最高の性能を提供します。このシステムは耐久アルミニウム構造と持続するために造られ、信頼できる操作および低い維持費の年を保障します。FC 3200は、ノイズを最小限に抑えた均一な流れを生み出すヘビーデューティでダイナミックなバランスの取れたブロワーを採用し、音を考慮した空間に適しています。この単位の蒸化器のコイルは有効なひれの設計を特色にし、信頼性を保障するためにポストペンキのすくいおよびエポキシによって処理されるコイルが付いている凝縮抵抗力があるアルミニウムフィンの組み立てられます。この蒸発器には、温度、ファン速度、およびその他の設定の精密制御を可能にするマイクロプロセッサコントローラも装備されています。AIRCO TEMESCAL FC 3200は、インテグラルタイマー、デジタルバックフロー防止装置、内蔵空気清浄機などの幅広い操作機能を備え、一貫性のある高品質の空気を保証するシンプルで使いやすい設計です。この機械はまた容易なアクセスおよびクリーニングのための容易なアクセスの部品と容易な維持のために設計されています。FC 3200は安全機能も備えており、安心して操作できます。このツールは、高圧切断スイッチ、圧力トランスデューサ、および独立した低圧スイッチを使用して、安全で信頼性の高い動作を保証します。さらに、この蒸発器には不揮発性ソリッドステートバイパススイッチが装備されており、蒸発器の性能を維持しながらファン速度を制御できます。AIRCO TEMESCAL FC 3200は、エネルギー効率とコスト削減を実現するよう設計されています。この蒸化器は、エネルギーを節約し、コストを抑えるために、凝縮物の蓄積を防ぐ分割絶縁ラインセットで設計されています。アセットには、熱伝達の改善とエネルギー損失の低減のために最適化されたフィン間隔も装備されており、効率とパフォーマンスを最大化しています。全体的に、FC 3200は、商業、工業、住宅用途に適した信頼性が高く効率的な蒸発器モデルです。耐久性のあるアルミニウム構造、効率的なフィン設計、およびインテリジェントなデジタル温度制御を備えたこの機器は、信頼性の高いパフォーマンスと費用対効果の高いエネルギー節約を提供します。
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