中古 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293643500 を販売中

YOKOGAWA Rainbow 4720は、高度なプロセス向けに設計された柔軟で汎用性の高いドライエッチャー/アッシャーで、次世代半導体デバイスの製造における高いスループットと歩留まりを実現します。この高性能エッチャー/アッシャー装置は、最大エッチング/アッシュ面積が12。7 cm、最大基板サイズが8インチです。非常に低コストのメンテナンスにより、より効率的で費用対効果の高いエッチング操作が可能です。Rainbow 4720は、Si、 GaAs、 SiC、 SiGeなどの幅広い材料のアプリケーションを提供するプラズマエッチャー/アッシャーです。また、低温アニールや高速ハイブリッドボンディングなどの高スループットプロセスも可能です。横川レインボー4720は、高速二酸化炭素（CO2）ガス流量により、エッチング率が高く、非常に短時間で様々な材料の加工が可能です。レインボー4720は、チャンバー面積が限られていても、基板全体で高いレベルのプロセス均一性を達成することができます。また、ガスフロー、RF電力、作業圧力などのエッチングパラメータを可変制御し、高解像度エッチング動作を実現します。また、横川レインボー4720は、トレーサブルなエッチング記録と再現性のあるプロセス結果を有し、高いレベルのプロセス制御と再現性を実現しています。Rainbow 4720には、高度な高度なデータベース管理システムがあり、プロセス制御と追跡が可能です。これにより、効率的な並列処理とインプロセスデータの迅速な監視が可能になります。すべてのデータは単一のユーザーインターフェイスから閲覧でき、データは安全な環境で他のユーザーと簡単に共有できます。エッチャー/アッシャーには、ガス漏れ、ガス流量、圧力エラーなどの事故を防止するための安全機能も多数あります。また、横川レインボー4720の内部ユニットは、プロセスパラメータがクリティカルレベルに達している場合にアラートを送信することができます。Rainbow 4720は、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーマシンで、より新しいプロセス要件に対応するために簡単にアップグレードできます。高性能な半導体デバイスの製造を容易にするために、最先端のプロセスのニーズを満たすように特別に設計されています。高いプロセス均一性と柔軟性により、半導体業界のアプリケーションに最適なソリューションです。