中古 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293642899 を販売中

YOKOGAWA Rainbow 4720は、アッシャータイプのプロセスアプリケーション用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、シリコンやガラスなどの基板上に薄層の均一なエッチングと成膜を提供することができます。Rainbow 4720の設計には、組み込みのプロセスチャンバーと、効率的なプロセス制御を容易にするためのさまざまなコンポーネントが含まれています。これには、最大30°傾斜角度をエッチングするための精密な位置ロック、プロセス角度を簡単に調整するためのデュアルアングルリフトメカニズム、および正確な温度制御のための内蔵温度センサーが含まれています。エッチングおよび蒸着プロセスは、基板のエッチング/蒸着要件に応じて、るつぼ温度とプラズマ出力を調整することによって微調整することができる熱蒸発に基づいています。このプロセスは、ウェーハなどの大きな表面や基板の小さな領域に適用して微細構造を作成することができます。YOKOGAWA Rainbow 4720には、操作やデータ管理が容易なユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスも含まれています。Rainbow 4720のチャンバーには、低ノイズの真空プリポンプと優れたプロセス制御用の追加コンポーネントが装備されています。これには、エッチング時に発生するノイズを低減するノイズ抑制システムや、チャンバーや基板への水/ガスの流れを制御するための水/ガス流量レギュレータが内蔵されています。エッチャー/アッシャーには、さまざまなプロセスプロファイルを作成できるように、基板加熱ユニットなどのさまざまなオプションパーツも付属しています。YOKOGAWA Rainbow 4720は、高品質な結果を再現できるように設計されており、精度と再現性を必要とする要求の厳しいエッチング/成膜アプリケーションに最適です。etcher/asherは容易な維持および維持を促進するために軽量および小さいフィートの印刷物と設計されていました。Rainbow 4720は、高度な技術、組み込みの安全対策、ユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、ラボと生産プロセスの両方に優れたエッチング/成膜システムです。