中古 YOKOGAWA Rainbow 4500 #9111384 を販売中

横川レインボー4500は、幅広い生産ニーズに対応できるように設計されたハイテクエッチャー/アッシャーです。高度な機能と様々な素材との互換性を備えた、成長するビジネスに最適なソリューションです。Rainbow 4500は、レーザー加工とプラズマエッチングの力を組み合わせたハイブリッドシステムです。高度なデュアルビーム技術により、アスペクト比、スループット、コストのさまざまな要件を満たしながら、高い均一性と精度で材料を処理することができます。このデバイスはモジュラー設計を採用しているため、幅広い用途での使用に適しています。2つのチャンバーサイズを選択でき、あらゆるサイズと形状のウェーハを処理できます。また、異なるプロセスパラメータをサポートし、より高いスループットを可能にするレーザーヘッドスワッピングを備えています。YOKOGAWA Rainbow 4500には、エッチングレシピの処理と最適化に役立つインテリジェントソフトウェアも搭載されています。このソフトウェアは、必要に応じてレシピパラメータを保存および調整するために使用され、各ジョブが期待どおりに実行されるようにします。さらに、外部制御システムとの接続も可能で、高レベルの自動化が必要なアプリケーションに最適です。最後に、Rainbow 4500には高度な粒子制御法が装備されており、処理中に発生する粒子の数を減らすことができます。この方法は、粒子の存在を減らし、エッチング結果を改善し、残留物を最小限に抑えるための特別なフィルターモジュールを使用します。横川レインボー4500は、優れた性能と使いやすい次世代エッチャー/アッシャーです。エッチングからアッシングまで、幅広い産業用途に対応するのに最適なツールであり、その高度な機能により、あらゆる生産環境に最適です。