中古 YOKOGAWA Rainbow 4420 #9111383 を販売中

横川レインボー4420は、マイクロエレクトロニクスや精密エンジニアリングプロセスで広く使用されている非常に効果的なエッチングおよびアッシング機器です。このシステムは、プラズマエッチング、ドライエッチング、ウェットエッチング、ドライアッシング、塩素ベースのエッチングおよびアッシングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング処理を実行することができます。このユニットは、ユーザーがエッチングとアッシングのプロセスを正確に制御できるように、幅広いプログラム可能な機能と機能を備えています。Rainbow 4420にはパルスファセットエッチングチャンバーが装備されており、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを実行できます。このチャンバーは、安定したエッチング環境を維持し、腐食性の気体副生成物の生成を低減するために、高周波および低周波振動を使用します。パルスファセットエッチングチャンバーには、エッチング部からTa、チタン、シリコンなどの金属および非金属材料を簡単に除去するために設計された組み込みストリップツールも含まれています。YOKOGAWA Rainbow 4420は、プラズマエッチング用のユニークなSUS316SS材料チャンバーを備えています。耐熱・耐薬品性に優れていることで知られています。SUS316SS材料は、エッチング工程で発生する化学残留物や不純物からワークを効果的に保護することができます。チャンバーの内部表面は耐腐食性で、あらゆるタイプのエッチングおよびアッシングプロセス用に設計されています。Rainbow 4420には、エッチングまたはアッシング処理の前後に基板を加熱するために使用できる基板加熱プレートもあります。基板の温度は、サーモスタット制御の加熱機で正確に制御することができます。このツールは600°Cまで温度に達することができ、CVD/ALD、分離プロセス、酸化物または窒化物エッチングなどのタスクに最適です。また、横川レインボー4420にはセミオートプロセスシャットダウン機能が搭載されており、あらかじめ決められた時間後にエッチングやアッシングを停止することができます。この機能は、不要な副作用を避けながら、安全で効率的なエッチング操作を保証するのに役立ちます。Rainbow 4420には、最高のパフォーマンスを提供するように設計されたソフトウェアコンポーネントのスイートが含まれたAdvanced Process Control Asset （APCS）も搭載されています。エンドポイントコントロール、レートコントロール、ホールドアングルコントロール、テープカットアングルコントロールなどのコンポーネントを搭載しており、エッチングやアッシングタスクを正確にプログラミングできます。YOKOGAWA Rainbow 4420は、さまざまな精密エンジニアリングおよびマイクロエレクトロニクス事業に適した、信頼性と効率の高いエッチングおよびアッシングソリューションです。この機器は、ユーザーが正確にエッチングとアッシングのタスクを制御し、監視することができますプログラム可能な機能と機能の多くを提供しています。