中古 YES / GLEN R3 #9193375 を販売中

YES/GLEN R3は、ナノ加工に使用される高精度のアッシャーまたはエッチャーです。これは、エッチング中のパラメータの優れた均一性を提供し、それは乾燥とウェットエッチング技術の両方で使用するために設計されています。多用途な設計により、高精度エッチングのためにさまざまなプロセスパラメータを正確かつ迅速に設定できます。装置自体は、プラズマコントローラ、電源、エーテルシステム、リフトテーブル、コントロールコンソールなど、いくつかのユニットで構成されています。独自のエーテルユニットは、低圧、低電流、低温のイオン化ガス混合物を使用し、複数のインジェクタを介して処理室に供給し、基板の均一なエッチングを可能にします。プラズマコントローラは、サンプルの最小スパッタリングとイオン化の正確な制御を提供するように設計されており、エッチングパラメータを正確に調整できます。電源は電流と電圧を正確に制御することができ、プロセスに安定した信号を提供することができます。リフトテーブルは、エッチング中にサンプルを配置するために使用され、エッチングのための正しい位置に基板を上げるか下げることができます。調節可能なテーブルを使用することで、さまざまな厚みと組成の基板を精密にエッチングできます。コントロールコンソールは、エッチングプロセスパラメータの設定と監視に使用されます。サンプルのエッチング時間、エッチング工程の選択性、エッチングチャンバーの温度、その他のパラメータを変更できます。他のタイプのナノ加工エッチングシステムと比較して、YES R 3は、低温および低圧動作、およびエッチングプロセスの制御および監視の精度で有名です。さらに、メンテナンスをほとんど必要とせず、幅広いアプリケーションシナリオを可能にする、信頼性の高い長寿命機です。