中古 YES / GLEN R3 #9124011 を販売中
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ID: 9124011
Plasma cleaner
Sequential microprocessor: Up to 90 separate one or two gas programs
Power supply: YES 500 Watt
(2) Gas inputs with one back fill input
(4) Electro sets/sample trays: 12 3/4 x 12 3/4
(2) Additional trays
Total capacity = 325 sq. in
Pilot run quantities,
115V, 60 Hz Single phase
1.5 Amps
175 W.
YES/GLEN R3は、シリコン、アルミニウム、亜鉛、金、プラチナなど、さまざまな材料をエッチング/灰にするために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。リニアモーションX -Yステージを搭載し、正確な位置決めが可能で、エッチング/灰の深さとエッチング/灰の面積幅を正確に制御できます。エッチング/アッシングプロセスを支援するために、調整可能な真空圧力と排気システムを備えた真空ポンプが含まれています。YES R 3は3段階のカスケードの棚付けのストリップ構成を含んでいます、1つの道の多数の材料のエッチング/ashingに使用することを可能にします。この単位は非常に有効、費用効果が大きいです。また、厚さの異なる基板をエッチング/アッシングの低深度で均一に加工することができ、優れた性能を提供します。GLEN R-3は、R 3に高いスループットを与える特定の材料に応じて、30秒から4分までのエッチング/灰の時間を提供することができます。このマシンは、ウェットおよびドライエッチング/アッシュモードの両方を実行するように設計されています。ウェットエッチング/アッシュ技術により、ドライエッチング法ではエッチング/アッシュが困難な素材のエッチング/アッシングが可能です。YES/GLEN R-3は高度に自動化されています。柔軟な制御ツールとユーザーフレンドリーなソフトウェアでプログラムされています。制御資産は、プロセス情報のシームレスかつ効率的な転送を容易にするように設計されています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、エッチング/灰のレシピを保存し、モデルを自動監視するように設計されています。YES R-3は1100から1500°Cに温度のエッチング/灰の材料にそれを可能にする高温水晶プロセスチャンバーが装備されています。高温チャンバーは、耐食性の向上につながる材料の表面に酸化物の層の形成を可能にします。YES R3も信頼性が高く耐久性があります。装置は安全で、安全な操作を保障する手動シャットオフおよび緊急停止のような保護機能が、装備されています。予期しない電力損失の場合は、UPSをシステムに接続して材料損傷を防ぐことができます。また、過温度・過圧時の電源を遮断するセンサーを搭載し、安全な動作を実現しています。YES/GLEN R 3は、高精度でスループットの高い幅広い材料をエッチング/アッシングするための効率的で信頼性の高いソリューションです。複数の材料との互換性と信頼性の高い性能の点で柔軟性があるため、さまざまなエッチング/アッシング用途に最適です。
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