中古 YES CV 100P #9197487 を販売中

YES CV 100PはYES Robotics Corporationが開発した高精度アッシャー/エッチャーです。最高の出力品質と精度を確保することを目的に、精密エッチングとアッシングプロセスを実行するように設計された高度で完全にプログラム可能な装置です。CV 100Pは、クリーンな環境を確保するために、統合された冷却システムと空気パージングユニットを備えています。さらに、高度なカルーセルコントロールユニット（CCU）は、ユーザーが簡単で直感的なプログラミングと制御を提供します。YES CV 100Pには、PLCマシンと統合されたアッシャー/エッチャーチャンバーが装備されており、正確な温度と圧力/真空制御プロセスを可能にします。高度なPLCツールとチャンバー構成により、すべてのパラメータが最適なアッシング/エッチングに適した範囲内に保たれます。温度と圧力/真空レベルは、PLCアセットを介して簡単に調整および監視することができます。CV 100Pは、高品質のカルーセルノズルモデル（CNS）を使用して、ウェーハに材料を適用します。ノズル装置は、ワーク全体の材料沈着の均一性、および正確で一貫した配置を保証するように設計されています。また、CNSには、セルフクリーニングおよび自己校正オプション、ウェーハのレーザトリミングおよび均一性テストのオプションもあります。In-situ発煙管理はYES CV 100Pの主な機能の1つです。エッチャー/アッシャーには、プロセスガスの流れをパーソナライズする高度なベントパネルが装備されています。ベントパネルを使用すると、ユーザーはチャンバーから排出されるプロセスガスの量を制御し、プロセス中に発生する発煙を最小限に抑えることができます。さらに、ベントパネルにはセルフラッチ機能があり、ベントパネルが確実に閉じられることを保証します。結果の最大スループットと信頼性を確保するために、CV 100Pにはいくつかの追加機能も含まれています。複数のウェーハを同時に処理できるため、大量のスループットが必要なユーザーに最適です。高度なマシンビジョンシステムは、エッチング/アッシング品質の面で正確な結果をユーザーに提供します。さらに、YES CV 100Pにはウェーハ最適化モードが含まれており、ユーザーはエッチングとアッシングパラメータを調整して、特定の要件に合わせて結果をカスタマイズできます。CV 100Pは、高度なエッチャー/アッシャーユニットであり、優れた結果を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと直感的なプログラミングマシンだけでなく、最高の精度と信頼性を確保するための追加機能の範囲を備えています。さらに、高度なベントパネルとウェーハ最適化モードにより、ユーザーは特定の要件に合わせてプロセスをカスタマイズする柔軟性を提供します。