中古 XACTIX E1 Mod #9174878 を販売中
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ID: 9174878
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2004
XeF2 (xenon difluoride) Isotropic silicon etcher
Photo-resist
Silicon dioxide
Silicon nitride
Aluminum
2004 vintage.
XACTIX E1 Modは、エレクトロニクス、光学、MEMSデバイスの製造など、ラボ用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。2。5インチx 2。5インチの石英エッチングチャンバーを備えたステンレススチールプラットフォームで、ユーザーフレンドリーで費用対効果の高いパッケージでエッチングとアッシング機能を提供します。E1 Modは、経験豊富で初心者のアプリケーションでも優れた堅牢性、精度、および耐久性を実現するために構築されています。最上位の材料で構成されたXACTIX E1 Modは、基板、非導電面、長時間実行プロセス、および最大500°Cまでの加熱性能に耐性のあるエッチング石英表面を備えています。また、高出力のRFジェネレータを搭載し、従来のサーマルエッチングに比べて高いエッチング歩留まりとエッチング品質を実現しています。E1 Modは使いやすさと信頼性のために設計されており、タッチインターフェイス、直感的なコマンド構造、および二桁の圧力/温度表示を備えています。また、上面RF接続により、プロセスの再現性が向上し、プラズマパラメータの迅速な周波数微調整が可能です。最後に、XACTIX E1 Modには、外部システムやデバイスに接続するためのフルペリフェラルセンターが装備されており、既存のラボのセットアップにシームレスに統合できます。全体として、E1 Modは信頼性が高く、費用対効果が高く、経験豊富で初心者にも最適な堅牢なプラットフォームです。XACTIX E1 Modは、最高の材料、優れた精度、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、さまざまなラボエッチング/ダイシング/研磨/洗浄プロセスに最適なソリューションです。
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