中古 VEECO Microetch #9255813 を販売中

VEECOマイクロエッチングは、二酸化ケイ素（SiO2）、金属、ガラス、有機ポリマーなど様々な材料の高精度エッチング用に設計された、高効率で信頼性の高いエッチングおよびアッシング機です。この機械は多くの適用のための精密な微細構造化そして良いパターンエッチングにとって理想的です。従来のウェットエッチングに比べ、深度精度と再現性に優れた最新のマイクロエッチング技術を特長としています。完全に最適化された光加熱と電流処理が可能なマイクロエッチングマシンは、あらゆる材料のエッチングを最大限に制御し、より信頼性の高い精密なリソグラフィーエッチングプロセスを可能にします。VEECOマイクロエッチングマシンの設計は、2つの真空ポンプを備えた密閉加工チャンバーで構成されています。コンピュータ制御されたX-Yステージは、エッチング/アッシングプロセスが発生する電極の間でマスクを移動させます。室温から-60°Cまでの温度での動作が可能です。イオンシャワーもあり、処理中のウェーハ表面の汚染を防ぎます。マイクロエッチングマシンの優れた深度精度は、材料の堆積を制御することによって達成されます。これは、調整可能なプログラム可能なRF電源設定と調整可能なイオンシャワー強度の使用によって調整されます。エッチング時には、エッチング領域の深さを制限するドリフトレス電極も使用されます。精密制御には、電流測定によるビーム監視と、プロセス全体の速度を制御するための移動速度セレクタも含まれます。このマシンはまた、パルス持続時間やビーム番号など、さまざまなカスタマイズ可能なパラメータを備えています。VEECOマイクロエッチングマシンは、高度な電子材料の超精密エッチングを製造するための信頼できるツールです。高精度で効率的で、二酸化ケイ素、金属、ガラス、有機ポリマーなどの様々な材料に取り組むために最適化されています。機械はユーザーが彼らの適用のためのプロセスを制御し、カスタマイズできるように調節可能な変数と設計されています。エッチング結果は非常に反復可能であり、イオンシャワーを使用することで、エッチング処理は汚染から解放されます。マイクロエッチングマシンは、高度で洗練された、細かく構造化された、完全にエッチングされた表面を作成するための不可欠なツールです。