中古 VEECO Microetch #9183385 を販売中
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ID: 9183385
ヴィンテージ: 1989
Ion beam etcher
MICROTECH Controls
Automatic beam controller
LAMBDA Neutralizer
UNIVERSAL VOLTRONICS Accelerators
UNIVERSAL VOLTRONICS Suppressors
Process gases: Ar, Ar/O2
Gun, 6"
Includes:
RG1000 Ionization gauge
AVC 1000 Automatic valve controller
APC 2000 Automatic pressure controller
LEYBOLD Vacuum
TURBOTRONIK NT 20
1989 vintage.
VEECOマイクロエッチングは、幅広い業界で使用される材料に精密エッチング、クリーニング、アッシングを提供するエッチングおよびアッシング機です。これは、研究と生産の両方の用途のために設計されており、再現性と均一なエッチングとアッシング操作を可能にする、完全に囲まれたチャンバーを備えています。そのすべてのコンポーネントは、優れた熱制御のための耐久性のあるアルミニウム構造に収容されており、その内部チャンバーは、ウェットおよびドライエッチング/アッシングプロセスの両方のために構成することができます。マイクロエッチは、高性能でデジタル制御された電源によって駆動され、正確なエッチングとアッシングサイクルを可能にします。そのデジタルプロセスコントローラとプログラマブルロジックコントローラ（PLC）は、精度、再現性、サイクルタイムを正確に制御します。さらに、統合されたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、エッチング/アッシングプロセス最適化のための迅速かつ簡単なパラメーター調整が可能になります。VEECO Microetchは、自動リフト機構を備えた反応容器を備えており、1つのプロセスで最大3つの基板の精密なエッチング/アッシングを可能にします。ProClean Gas Management Systemは、エッチング/アッシング時の酸化を最小限に抑えるために、正確な量の不活性ガスを提供します。さらに、機械の機能をさらにカスタマイズするために、さまざまなオプションのアクセサリーが利用可能です。Microetchの機能と機能は、費用対効果の高い高性能エッチング/アッシングプロセスに最適です。精密プロセス制御により、研究用途に最適ですが、自動化されたリフトメカニズムとオプションのアクセサリーにより、生産プロセスに適しています。その耐久の構造および正確なガス管理システムはそれを反復可能な、均一な結果をあらゆる周期作り出すことができるようにします。最後に、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとプログラマブルロジックコントローラにより、エッチング/アッシングプロセスの使用と構成が容易になります。
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