中古 VEECO Microetch RF 350 #9244343 を販売中

VEECO マイクロエッチRF 350は、様々な材料の高解像度プラズマエッチングとアッシングを提供するプラズマエッチャー/アッシャーです。独自の13。56MHz周波数を使用して、このエッチャー/アッシャーは、エッチング/アッシングプロセスに優れた速度、均一性、および選択性を提供します。さらに、標準的なミニチュアチャックを備えた機械式ウェーハハンドリング装置を備えており、様々なチャンバー構成に適しており、優れた性能を実現しています。このエッチャー/アッシャーは、高精度エッチングパターンで高品質の表面を作成するために使用される無線周波数プラズマエッチングおよびアッシングプロセスを利用しています。高出力の無線周波数エッチング電源は、高品質で再現性の高い結果を保証する優れた再現性を提供します。さらに、その正確なプルーム制御は、正確なエッチングレートを提供しながら、プロセス時間を短縮するのに役立ちます。さらに、エッチャー/アッシャーには自動基板洗浄および可変圧力システムが装備されており、さらなるプロセス最適化と欠陥のないエッチングが可能です。安全性に関しては、マイクロエッチRF 350は、エッチング処理がプラズマによる損傷から保護されていることを確認するために、排気ポートとポンプ保護とともに、インターロックユニットを備えています。さらに、高度な圧力と温度制御により、ユーザーは望ましい安全基準を満たすことができます。このエッチャーには、追加の安全レベルのリーク検出器や、塩素含有ガスの漏れなどの潜在的な有害物質を特定するためのものも含まれています。ユーザーの利便性を最大限に高めるために、VEECO Microetch RF 350には、プログラム可能な設定を備えた直感的なユーザーインターフェースパネルが含まれています。このエッチャー/アッシャーには高度なデータロギング機能があり、ユーザーはエッチパラメータ、レシピ、およびエッチング収率を簡単に保存および分析できます。さらに、リモートサービス接続により、オペレータはマシンの問題を迅速かつ簡単にトラブルシューティングできます。全体的に、Microetch RF 350は、さまざまな種類の材料をエッチングまたはアッシングするための理想的なエッチャー/アッシャーです。高いパワー、選択性、スピード、均一性を備え、最小限の労力で高品質のエッチング結果を生み出すことができます。さらに、高度な安全性とユーザーフレンドリーな機能により、産業用および研究用の両方に最適です。