中古 VEECO Microetch LL250 #9100793 を販売中

VEECO Microetch LL250は、半導体およびMEMS/NEMSアプリケーションの材料エッチングおよびアッシング用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。オープンアクセス構成により、基板のロードとアンロードを高速化するだけでなく、統合コントローラ、ソフトウェア駆動のレシピパラメータ、直感的なプログラミングのためのタッチスクリーンインターフェイスを備えています。また、さまざまなアプリケーションの要件を満たすための幅広いプロセスパラメータと機能を提供します。VEECO LL 250は、より一貫した結果を得るために均一な加熱と冷却を保証するように設計されたセラミック断熱材を備えた熱制御プロセスチャンバーを収容します。精密マイクロバルブノズルは、高速生産と優れた選択性と均一性を提供しながら、正確な基板位置決めを提供するX-Yスキャナを搭載しています。さらに、このユニットには、重要なプロセス条件をリアルタイムで監視および制御できるin-situシステムが含まれています。MICROETCH LL 250は、高性能のマルチプロセッサ制御システムを搭載しており、正確で再現性の高いプロセス制御を提供します。高度な電源管理と診断機能を備えており、一貫性のある再現性のある結果を保証し、メンテナンス時間を短縮する自動校正モニタを備えています。さらに、このユニットには、時間の経過とともにパフォーマンスを維持するための多数の診断および予防メンテナンス機能が含まれています。さらに、VEECO MICROETCH LL 250は、多くの安全機能を備えています。これには、過熱保護、リアクタント管理、およびプロセス障害時のガス漏れを防ぐための自動ガスシャットオフが含まれます。さらに、このユニットには安全な物理的シールド、ならびに可燃性ガスの濃度を検出して保護するように設計された光学およびガスセンサーが装備されています。LL 250は、高精度エッチングおよびアッシング処理に最適です。幅広いプロセス機能、直感的な制御、信頼性の高いパフォーマンスを提供し、半導体およびMEMS/NEMSアプリケーションのエッチングおよびアッシング操作に最適なソリューションです。