中古 VEECO / MICROETCH IBE 1201 #9210325 を販売中

VEECO / MICROETCH IBE 1201
ID: 9210325
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6".
VEECO/MICROETCH IBE 1201は、マイクロスケールで精密エッチングとストリッピングを提供する高度なドライエッチャーおよびアッシャー装置です。このエッチャーは、金属、金属表面、プラスチックからポリマーやシリコンウェーハまで、ほぼすべての材料を製造および修正するために使用されます。VEECO IBE 1201は、5ミクロンという小型の機能サイズを生産できるため、高度なプロトタイピングや生産レベルのジョブに最適です。ウエハステージを備えた高精度ビームステアリングユニットにより、エッチングするパターンを迅速かつ正確にアライメントします。MICROETCH IBE 1201は、2Dパターンと3Dリフロー処理のハイスループットエッチング用に、正確に制御された長寿命エッチングソースを備えています。高度なアイソレーションバルブマシンは、エッチングが始まる前に損傷した材料の完全な除去を保証します。このツールは、さまざまなエッチングガスだけでなく、幅広い材料やアプリケーション要件のための化学的および物理的エッチングを利用しています。1201は、最大60度、最大2ミクロンの角度でエッチングが可能で、光学部品、電気部品、機械部品の高精度エッチングおよびフライス加工が可能です。IBE 1201は、マルチレベルパラメータ選択プロセスとグラフィカルアシストを使用して、ユーザーがエッチングパラメータをプログラミングできる高度なコントローラを備えています。また、細かいパターンアライメントのためのオートフォーカス機能や、エッチング工程を正確に調整するための高解像度イメージング資産も含まれています。静電気による汚染リスクを大幅に低減する静電気防止コーティングオプションも搭載。さらに、VEECO/MICROETCH IBE 1201は、厳格なクリーンルーム要件と特定の安全規制に準拠するように設計されています。全体として、VEECO IBE 1201は、材料加工および製造における最も要求の厳しい要件を満たすように設計された非常に汎用性の高いドライエッチャーおよびアッシャー装置です。精密な動きとイメージング機能により、マイクロスケール上の複雑な部品やデバイスの製造に最適です。ファインエッチングやストリッピング、高度なプログラミング機能の精度を高め、正確で再現性の高い結果を得ることができます。
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