中古 VEECO / MICROETCH 1201 #9354607 を販売中

VEECO/MICROETCH 1201は、さまざまな先進材料プロセス向けに設計された最先端のエッチャーおよびアッシャー装置です。独自のモジュール設計により柔軟性と適応性を提供し、幅広いアプリケーションを実行できます。このエッチャーは、ストレスフリーで再現性が高く信頼性の高い結果を備えており、幅広いプロセス温度と時間にわたって精度と一貫性を備えています。柔軟なアッシャー設計により、最適なエッチングのためのノズル位置と温度範囲の変化を可能にします。さらに、VEECO 1201の強化された光学システムにより、ウェーハ全体で光学的に均一な処理が可能になります。MICROETCH 1201はまた、均一なエッチングとアッシングのための7インチ回転サポート治具を備えた大きなウェハ処理機能を提供します。このモデルはまた、3次元電極基板のための拡張プラットフォームを持っています。最先端の真空ポンプだけでなく、ウェーハ処理のための手動および機械転送機能が含まれています。ケミカルプロセスと物理プロセスの両方をサポートすることができる1201は、シリコン、石英、イエサリン、アルミニウム、銅などのさまざまな材料をエッチングおよびアッシャーすることができます。単層プロセスと多層プロセスの両方、高温または低温プロセスおよびその他の高度なアプリケーションに最適です。このエッチング/アッシュドユニットは、高感度基板の処理に最適な負圧動作範囲を備えています。また、プロセスモニタリング用の光学顕微鏡や、エッチングの深さとプロファイルの測定も含まれています。VEECO/MICROETCH 1201は、様々な基板や材料をエッチングおよびアッシングする際の柔軟性を確保するための水系および有機反応ガス供給システムです。また、PCとRS422の両方のインターフェイス制御で非常に正確な制御と監視を誇っています。さらに、VEECO 1201は、複数のオーバーフローチャネルや保護回路を含む安全機能を内蔵しており、有害物質の流出による潜在的な損傷を軽減します。MICROETCH 1201は、最も要求の厳しいアプリケーションに対応するパフォーマンス、精度、柔軟性を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。反復可能な結果、拡張された基板処理機能、および設計された安全機能を備えたこのマシンは、単層および複数層のエッチングおよびアッシングプロセスの両方に理想的なツールです。