中古 VEECO / MICROETCH 1201 #293689971 を販売中

VEECO / MICROETCH 1201
ID: 293689971
Ion Beam Etcher (IBE).
VEECO/MICROETCH 1201は、各種基板のエッチングおよびアッシングに優れた結果を提供するように設計された高品質のエッチャー/アッシャー装置です。この汎用性と信頼性の高いシステムは、12インチx 12インチのシングルステージRFアクティブガスエッチングチャンバーを備えており、in-situ圧力測定ユニットを備えています。2。5"までのすべての部屋のために適しています厚く、急速なエッチングおよび正確なエッチング率を提供するのに無線周波数(RF)力を使用します。また、精密なチャンバー温度管理を可能にする高度な温度制御マシンを備えています。このツールはまた、ユニークなエッチング要件を満たすためにさらに汎用性の高いアクセサリーの広い範囲を持っています。高性能RFジェネレータとマッチングネットワークを備え、エッチング性能に優れています。また、クリーン基板エッチングを実現するために、高性能、マルチプレーナー、ライトシールドクォーツビューウィンドウを購入することもできます。自動降下アセットも用意されており、均一性を必要とする大容量エッチング用途に最適です。自動デサマーは、デカミングバイアスを排除することにより、エッチングの再現性を向上させます。VEECO 1201は、使いやすいWindowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して制御され、高レベルの制御を容易にし、迅速なパラメーター変更を可能にします。この洗練されたモデルには、完全なデータ記録とストレージ機能も含まれています。装置は反復エッチングランのためにすぐに呼び出すことができる100までの調理法を貯えることができます。MICROETCH 1201は、エッチングとアッシングにおいて最高の精度と一貫性を提供する、最先端のエッチャー/アッシャーです。その優れた制御とアクセサリーの広い範囲は、正確な、繰り返しエッチングとアッシングを必要とする産業、研究、医療分野の用途に最適です。その低フットプリント設計は、任意のラボのスペースに収まることができ、既存のラボ環境に簡単に統合することができます。
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