中古 VEECO / MICROETCH 1201 #293628796 を販売中

VEECO/MICROETCH 1201は、高度なプラズマエッチング、アッシング、およびディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）アプリケーション向けに設計されたディーププラズマエッチングおよびアッシャーです。この装置は、研究、開発、工業生産など、さまざまな産業で使用するために設計されています。VEECO 1201は堅牢で信頼性の高い設計で、MICROETCH 1201は設置面積が小さく、ほぼすべての実験室環境に適合しているため、小さな部品のめっきとエッチングが容易です。このシステムは、ディープエッチング/イオンミリング、IC/MEMSエッチング、半導体エッチング、レーザーアブレーション、微細加工プロセスなど、複雑なリソグラフィのためのエッチプロセスの配列を実行します。1201は、高度なオンボード人工知能（AI）とマイクロプロセッサを通じて、エッチングプロセスの精密制御を提供します。AIユニットは、エッチングパラメータを自動的に最適化し、プロセスのスループットを正確に制御します。フルオロカーボン、メタン、窒素、酸素など幅広いガスをエッチングすることができます。VEECO/MICROETCH 1201は、2つの独立した電源も備えており、複数のエッチング作業を同時に行うことができます。このツールは、低圧プレナムチャンバーと直接駆動基板プラットフォームで動作し、汚染と表面の損傷を最小限に抑えます。VEECO 1201は熱安定性、外圧からの分離、および安全な大気環境のために設計されている内部の部屋と造られます。MICROETCH 1201はまた、クイックオーバーライドガスコントロールを使用してダウンタイムを削減し、エッチプロセスの高速で信頼性の高いスループットを確保します。1201では、エッチングのリアルタイム分光、飛行時間の質量分光、プロセスを微調整するための基本的かつ高度なプロセス制御など、幅広いプロセス監視およびデータ収集ツールが利用できます。VEECO/MICROETCH 1201は、プラズマの質量フラックス、基板温度、寿命を測定する統合分光プラットフォームを提供しています。さらに、エッチング結果を監視するマルチビューファイバ顕微鏡を搭載しています。結論として、VEECO 1201は、幅広いエッチングプロセスに対応できる信頼性の高い直感的なエッチングモデルです。ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、信頼性の高いコンポーネントと機能で構築されており、毎回一貫した正確なエッチングを保証します。MICROETCH 1201装置は、プラズマエッチングプロセスを微調整し、エッチングタスクをより高いレベルで制御するために、さまざまな監視および高度なプロセス制御ツールにアクセスできます。