中古 VEECO / MICROETCH 1201 #293628789 を販売中
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VEECO/MICROETCH 1201は、半導体デバイス製造における精密アプリケーション向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この洗練された装置は、高精度の温度および誘電性エッチングチャンバーを備えており、堅牢で一貫した結果を提供しながら、タイトなプロセスパラメータを許容することができます。また、イオンガン技術を一体化し、横方向と縦方向のエッチング制御を高精度に行うことで、高精度で高品質なパターンを開発することができます。VEECO 1201は、エッチング精度と再現性を向上させるために、高い基板温度と低温反応剤で使用するために設計されています。これにより、プロセスのパフォーマンスや品質を損なうことなく、厳しいプロセス許容要件内でエッチングすることができます。MICROETCH 1201は、エッチング処理をリアルタイムで監視し、局所異常を検出する高解像度イメージング機能も備えています。このチャンバーには、さまざまなプラズマ密度を生成するためのさまざまなRFソースが装備されており、さまざまなエッチング用途に適したプロセスパラメータを使用できます。1201は非常に汎用性が高く、多種多様なエッチングおよびアッシャー用途に使用できます。厚膜やスルーシリコンビアによるエッチングが可能で、高感度な基板へのダメージを避けます。さらに、VEECO/MICROETCH 1201は、一貫した急速熱処理能力を備えており、窒化や酸化などの急速かつ効率的な熱処理や、薄膜や半導体基板のアニールが可能です。この特徴は基質のサイズおよび形にもかかわらず非常に均一な熱過程を保障します。このエッチャー/アッシャーは、機能性とパフォーマンスのユニークな組み合わせにより、本当に際立っています。VEECO 1201は、エッチングおよびアッシャー用途において比類のない精度、再現性、精度を提供する、信頼性と効率の高い機器です。半導体デバイスとMEMS製造に最適な選択肢であり、歩留まりを最大化し、コストのかかるプロセスエラーを最小限に抑えるのに役立ちます。
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