中古 UVOCS T10X101/OES #293621296 を販売中
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UVOCS T10X101/OESは、エッチングとアッシングのプロセスを正確かつ包括的に制御するエッチャー/アッシャーです。制御されたプロセスガス環境を備えたフルサイズのシングルサイドエッチャー/アッシャーです。それはいろいろな表面で働き、手動コーティングプロセスより多くの利点を提供します。このデバイスは、古いレイヤーの除去、レイヤーの拡散、および/またはレイヤーのアッシングなどのアプリケーションに最適です。エッチャー/アッシャーには、2つのドア、1つは材料の積み下ろし、もう1つは入出口に装備されています。これにより、材料の容易な導入と除去が容易になります。エッチャー/アッシャーには再循環および濾過システムもあり、プロセスガスから粒子を除去することができます。これにより、プロセス効率が向上し、高い材料表面均質性が得られます。エッチャー/アッシャーは、25°Cから600°Cまでの温度調整、0。1ミリ秒から1000時間の範囲でのプログラム可能なエッチング/アッシング時間、および調整可能な圧力および流量など、いくつかの温度およびチャンバー制御を提供します。これらの制御はすべて、表面と使用される材料に応じて、エッチングとアッシングのプロセスを完全に最適化することができます。これは、手動コーティング工程と比較して、欠陥を最小限に抑えた面を得るのに役立ちます。UVOCS T10X101/OESは、ヘリウム、窒素、アルゴンの3種類のチャンバーガスと互換性があります。これらのガスの電気特性を優れた制御により、基板特性を正確かつ正確に制御することができます。さらに、エッチャー/アッシャーは、電極、シャワーヘッド、ガス検出器、絶縁シリンダ、熱電対など、多くの標準的なアクセサリーをサポートしています。これらのアクセサリーはすべて、ユニットの柔軟性と効率性を高めます。UVOCS T10X101/OESに安全弁および温度の圧力救助弁を含むいくつかの安全機能が安全で、信頼できる操作を保障するあります。また、異常を検出し、即座に診断するように設計された高度な自己診断機能を備えています。これにより、エッチャー/アッシャーは時間をかけてパフォーマンスを維持します。エッチャー/アッシャーには、複数のオートメーションオプションが組み込まれており、自動操作と材料の除去が可能です。これにより、エッチング/アッシングプロセスが迅速かつ一貫して安全に実行されます。さらに、etcher/asherは簡単なリモートPC制御とデータロギングを提供し、ユーザーに任意の遠隔地からプロセス設定を監視および調整する機能を提供します。全体として、UVOCS T10X101/OESは革新的で強力なエッチャー/アッシャーであり、幅広いエッチングおよびアッシング用途で優れた結果を提供できます。さまざまな構成とオートメーションオプションを備えたこのデバイスは、ラボでの精密エッチングとアッシングのニーズを確実に満たします。
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