中古 UVOCS T10X101/0ESIE #293593213 を販売中

UVOCS T10X101/0ESIEは、さまざまな用途に適した高性能エッチャーおよびアッシャーです。最先端のニードルビームチャンバー設計により、エッチング用に最大10個の200mmサンプルウェーハ、アッシング用に最大300mmサンプルウェーハを収容可能です。T10X101/0ESIEモデルは、フィルムの堆積に使用できるLPCVDチャンバーも備えています。T10X101/0ESIEモデルのチャンバーは、軸に沿ってサンプルに最適なガスの流れを確保するように設計されています。これは、完全に閉じたループとレギュレーション、基板加熱用の赤外線ヒーター、プロセスパラメータ安定化のための2つの二次チャンバー、リアルタイムエッチング端点測定用のHelios平面ボロメータを備えた7ゾーン熱伝導ヒーティングシステムを備えています。さらに、ウェーハの全径に沿って均一な処理条件を提供する高度な熱制御マシンを装備しています。T10X101/0ESIEエッチャーとアッシャーは、高度な直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えた統合プロセス制御ツール（IPCS）を利用しています。これにより、ユーザーはエッチングとアッシュに必要な資産パラメータを簡単に設定できます。さらに、自動エッチングプログラムを備えており、エッチングのレシピを自動的に最適化するだけでなく、エッチレートの精度を最大10小数点以下にすることができます。モデルはまた、エッチングまたはアッシュする材料に応じて可変レシピパラメータを可能にします。また、T10X101/0ESIE装置には、プロセスガスインテークと完全な排気制御、レーザー照明、ユーザーの利便性と安全性のための簡単な配置システムが装備されています。このモデルは、表面の損傷やその他のプロセス成果物を最小限に抑えながら、高いエッチングとアッシング速度を実現することができます。最終的に、UVOCS T10X101/0ESIEエッチャーおよびアッシャーは、多くのエッチングおよびアッシングプロセスに高性能で信頼性の高いソリューションを提供します。その精密制御、高度なチャンバー設計と直感的なインターフェイスは、研究開発ラボだけでなく、産業用途のための魅力的なオプションになります。