中古 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9170856 を販売中
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ID: 9170856
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
High density plasma etcher, 8"
For de-layer
2002 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL N 860は、金属、ポリマー、セラミックス、その他の材料のドライエッチングを含む製造プロセスで使用するために設計されたエッチャー/アッシャーのセットアップです。48x48x15 cmのワークエンベロープで設計されており、部品の高いスループットを実現しています。UNAXIS N 860には、非常に効果的で正確なエッチングとワークピースのアッシングを可能にする自動装置部品が装備されています。また、エッチング/アッシング処理中にエンドユーザーを放射線から保護するための最先端の安全シールドも備えています。このシステムには、クローズドループのフィードバックユニットと単一のユーザーフレンドリーなコントロールパネルが装備されており、プロセスを監視し、リアルタイムの調整を行うことができます。自動自己診断機能により、すべてのコンポーネントが生産開始前に完全に稼働していることが保証されます。マシンハードウェア内には、グラファイトプラズマチャンバー、ガス供給ポート、無線周波数(RF)ジェネレータ、石英フィードスルーツールが装備されています。RFジェネレータは、プラズマチャンバー内にプラズマ放電を生成する電磁界を生成します。次に、ガスポートを使用して、プロセス固有のガスをチャンバーに導入して反応を誘発し、ワークピースをエッチングします。このフィードスルーアセットは、ピンチバルブ機構を使用してリアクタントガス流量と圧力を正確に制御し、所望のエッチングパラメータを正確に調整できます。NEXTRAL N 860は、2000 dpiまでの高精度エッチングおよびアッシングを提供し、繊細な工業部品のファインラインエッチングや切断から、大規模な部品エッチングおよび切断まで、さまざまなアプリケーションを可能にします。内部の水冷モデルは、最適な性能と安全性のために必要な温度を維持します。標準実験室からクリーンルーム、産業用設備まで、さまざまな環境で使用できます。N 860は生産ラインおよびより大きいスケール操作のための完全な解決で、高いスループット、信頼性および精密を提供します。ハードウェア設計により、高性能と安全性が保証され、カスタマイズ可能なソフトウェアと効率的なフィードスルーシステムにより、エッチングおよびアッシングアプリケーションに適した微調整が可能です。高度な機能と信頼性の高いパフォーマンスを備えたUNAXIS/NEXTRAL N 860は、あらゆる環境で最適な生産パフォーマンスを保証します。
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