中古 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9125878 を販売中

UNAXIS/NEXTRAL N 860は、化学的に機械的にエッチングし、負荷ロックを内蔵したアッシング装置です。プラズマやウェットエッチング技術を活用し、幅広いプロセスアプリケーションを実現しています。UNAXIS N 860は、最適化された制御ユニットにより、優れた膜厚均一性と優れた膜質を提供することができます。NEXTRAL N 860は、誘導結合コイルを備えたプラズマエッチングチャンバーを使用して、広範囲のパワーレベルの非平衡プラズマを生成します。このチャンバーには、最適なプラズマ条件を確保するためのRFマッチングネットワーク、ガスバブラー、真空ポンプも装備されています。チャンバーには石英トレイと熱電対があり、フィルムエッチングパラメータの温度制御と正確な制御を提供します。機械は機械的に攪拌された化学ウェットエッチングチャンバーと統合されています。このチャンバーには、材料の化学エッチングを可能にするジェット、ポンプ、バルブが装備されています。ウェットエッチチャンバーはステンレス製で、さまざまな化学物質と互換性があるように設計されています。このツールは、レシピ管理ソフトウェアでプロセスパラメータをレシピ管理資産に入力できるようにプログラムされています。このソフトウェアは、エッチングや蒸着時間制御、熱電対によるチャンバ温度制御など、さまざまな機能を提供します。N 860はまた、エッチングおよび成膜プロセスに温度制御と動作安定性を提供する統合ロードロックを備えています。負荷ロックはステンレス鋼から密封され、エッチングおよび沈殿操作のためにきれいで、安全な環境を提供します。UNAXIS/NEXTRAL N 860エッチング&アッシングモデルは、高品質のエッチングおよびアッシング操作のための強力なツールです。その最適化された制御装置と幅広いプロセスアプリケーションにより、優れた均一性とフィルム品質を提供できます。さらに、統合されたロードロックにより、温度制御と動作安定性が保証されます。