中古 UNAXIS / NEXTRAL 860L #9172081 を販売中

UNAXIS / NEXTRAL 860L
ID: 9172081
ECR Etching system.
UNAXIS/NEXTRAL 860Lは、ウェットエッチングおよびアッシング用途に特化した次世代エッチャー/アッシャーです。効率的で制御されたドライエッチングプロセスにより、ユーザーは信頼性の高い再現性の高い結果を得ることができます。UNAXIS 860Lにはデュアルソースのプラズマ構成が装備されており、調整可能なプロセス設定とオーダーメイドのプロセスレシピで正確なエッチングとアッシング性能を提供します。精密に安定したエッチング結果を生成することができます。NEXTRALの860Lはまた非常に小さいi。dの産業ユーザーを可能にする高性能のイオン化されたガスの抽出およびクリーニングシステムを提供します。均一な方法で部品を抽出し、きれいにする管プロダクト。さまざまなオプションを装備し、860Lはエッチング処理の優れた均一性を提供します。プログラマブルなレシピ設定、圧力測定、および自動キャリブレーションにより、ユーザーは簡単でパーソナライズされたプロセス制御を提供します。UNAXIS/NEXTRAL 860Lはまた、酸化物の過負荷を低減し、エッチングプロセスの効率を高めるための酸化物除去および沈着機能を提供します。UNAXIS 860Lは、効率的な材料管理を念頭に設計されています。これは、大容量の負荷容量と最大400mm x 250mm (16 ″ x 10 ″)までの部品サイズを処理する能力を持っています。そのカスタム設計されたプロセスチャンバーは、プロセス温度と圧力が低い場合に均一なエッチングを提供するように最適化されており、非常に効率的です。また、NEXTRAL 860Lも安全性向上のために設計されています。それは制御された環境にだけユーザーをさらす自動ガス配達と提供されます。860Lは、施設全体に広がるあらゆるインシデントを防ぐために、組み込みの火災制御システムを備えています。全体的に、UNAXIS/NEXTRAL 860Lは、優れた性能、信頼性、および精度を提供する超効率のエッチャー/アッシャーです。産業用途に適しており、セットアップと使用が容易です。UNAXIS 860Lは幅広い柔軟なプロセスレシピを提供しており、産業用エッチングおよびアッシングプロセスに最適です。
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